[发明专利]一种具有自校准功能的带方向性检测的触觉传感器在审
申请号: | 202310618959.0 | 申请日: | 2023-05-29 |
公开(公告)号: | CN116952442A | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 董林玺;钟妤馨;胡梦宜;俞挺;刘超然;杨伟煌 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | G01L5/162 | 分类号: | G01L5/162;G01L25/00 |
代理公司: | 杭州奥创知识产权代理有限公司 33272 | 代理人: | 王佳健 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种具有自校准功能的带方向性检测的触觉传感器。本发明包括力检测模块和位于力检测模块内的自校准模块。力检测模块为两种不同类型的硅梁,分别是测量z轴应力的硅梁和测量x/y轴应力的硅梁。自校准模块包括压电材料和电极;压电材料分别位于两种不同类型的硅梁上方,利用逆压电效应驱动硅梁产生机械应变,以实现触觉传感器的自校准。本发明中的测量x/y轴应力的硅梁形状为圆弧状而非传统的直梁,在相同应力作用下可以产生更大的机械应变,从而扩大触觉传感器的灵敏度,并且通过输出的电阻变化量的趋势,对触觉传感器所受外力进行方向检测。还发明还可通过自校准模块对触觉传感器进行自校准和误差补偿。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 校准 功能 方向性 检测 触觉 传感器 | ||
【主权项】:
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