[发明专利]一种具有自校准功能的带方向性检测的触觉传感器在审

专利信息
申请号: 202310618959.0 申请日: 2023-05-29
公开(公告)号: CN116952442A 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 董林玺;钟妤馨;胡梦宜;俞挺;刘超然;杨伟煌 申请(专利权)人: 杭州电子科技大学
主分类号: G01L5/162 分类号: G01L5/162;G01L25/00
代理公司: 杭州奥创知识产权代理有限公司 33272 代理人: 王佳健
地址: 310018 浙*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种具有自校准功能的带方向性检测的触觉传感器。本发明包括力检测模块和位于力检测模块内的自校准模块。力检测模块为两种不同类型的硅梁,分别是测量z轴应力的硅梁和测量x/y轴应力的硅梁。自校准模块包括压电材料和电极;压电材料分别位于两种不同类型的硅梁上方,利用逆压电效应驱动硅梁产生机械应变,以实现触觉传感器的自校准。本发明中的测量x/y轴应力的硅梁形状为圆弧状而非传统的直梁,在相同应力作用下可以产生更大的机械应变,从而扩大触觉传感器的灵敏度,并且通过输出的电阻变化量的趋势,对触觉传感器所受外力进行方向检测。还发明还可通过自校准模块对触觉传感器进行自校准和误差补偿。
搜索关键词: 一种 具有 校准 功能 方向性 检测 触觉 传感器
【主权项】:
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