[发明专利]一种基于LaAlO3在审

专利信息
申请号: 202310622523.9 申请日: 2023-05-30
公开(公告)号: CN116615090A 公开(公告)日: 2023-08-18
发明(设计)人: 翟金凤;沈健;何攀;郭杭闻;朱银燕;王文彬;周晓东;殷立峰 申请(专利权)人: 上海期智研究院
主分类号: H10N52/00 分类号: H10N52/00;H10N52/80;H10N52/85;H10N52/01
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 王洁平
地址: 200232 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种基于LaAlO3/KTaO3界面二维电子气的非线性霍尔器件及其制备方法。该器件由LaAlO3/KTaO3薄膜异质结和光刻胶组成。在旋涂一层光刻胶并且经过图案化曝光和显影后,KTaO3衬底被分为覆盖区和非覆盖区。在衬底的非覆盖区上通过脉冲激光沉积生长非晶LaAlO3(LAO),在非覆盖区产生氧化物界面二维电子气,实现导电区和绝缘区的分离,得到霍尔器件形状的LAO/KTO导电界面。本发明器件适合低温工作,其利用该界面的非线性霍尔效应,成功在垂直于电流方向上出现非线性霍尔电压,实现倍频和整流应用。
搜索关键词: 一种 基于 laalo base sub
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