[发明专利]冷却设备和冷却系统在审
| 申请号： | 202310627403.8 | 申请日： | 2023-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN116419641A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 张正龙;姚向阳 | 申请（专利权）人： | 马鞍山市安马电子设备实业有限公司 |
| 主分类号： | H10K71/00 | 分类号： | H10K71/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳精智联合知识产权代理有限公司 44393 | 代理人： | 夏声平 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种冷却设备和一种冷却系统。冷却设备包括：壳体，形成有真空腔体；冷却目标放置台，设置在所述真空腔体内、且连接所述壳体，所述冷却目标放置台具有用于放置冷却目标的放置面；以及第一冷却装置，设置在所述真空腔体内，所述第一冷却装置连接所述壳体，所述第一冷却装置具有第一冷却面，所述第一冷却面与所述放置面相对设置；当所述放置面上放置有所述冷却目标时，所述第一冷却面与所述冷却目标之间具有间距。本发明实施例通过将第一冷却装置的第一冷却面和冷却目标之间设置有间距，使得第一冷却装置对冷却目标在冷却时无需接触，避免了接触冷却导致的冷却目标损伤或污染，进一步避免了静电力对冷却目标的损伤，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 设备 冷却系统 | ||
【主权项】：
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