[发明专利]一种温差电元件发电性能测试系统和样品台在审
申请号: | 202310715777.5 | 申请日: | 2023-06-16 |
公开(公告)号: | CN116593855A | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 廖锦城;柏胜强;夏绪贵;宋庆峰;王超;史迅;陈立东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲;温猛 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及半导体测试技术领域,具体涉及一种温差电元件发电性能测试系统和样品台。一种温差电元件发电性能测试系统,用于同时对两种不同类型的待测温差电元件进行测试,包括电源单元,检测单元,样品台和气氛单元,气氛单元用于至少容置待测温差电元件以提供测试气氛,样品台用于夹持待测温差电元件,电源单元用于与样品台和待测温差电元件组成温差发电回路,其中样品台包括集温器和在集温器两侧设置的电极,集温器与电极存在温度差,电极用于将两种不同类型的待测温差电元件分类型地夹持在集温器的两侧以形成温差电偶,电源单元与电极连接构成温差发电回路,检测单元用于通过温差发电回路检测待测温差电元件的发电性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 温差 元件 发电 性能 测试 系统 样品 | ||
【主权项】:
暂无信息
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