[发明专利]一种片上气体传感器

摘要

本发明公开了一种片上气体传感器，属于集成光子气体传感领域。包括两个片上模式转换器、中心总线亚波长光栅和两侧的窄亚波长光栅。片上模式转换器由三节锥形和两段模式转换区组成，而目标气体在2000nm波段存在吸收峰，与光场接触后吸收特定波段的光，通过检测宽谱光的强度完成气体浓度的探测。相比于传统的片上条波导气体传感器，本发明明显提升了器件的灵敏度和检测限，并且尺寸也不大，满足集成光电子器件的尺寸要求，将更灵巧的应用于光互连系统中。且该片上气体传感器避免了其他高灵敏度传感器件需要的复杂工艺，制造难度低。