[发明专利]一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法及系统在审
| 申请号： | 202310729399.6 | 申请日： | 2023-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN116929716A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 孙佳欣;赵宇暄;孟祥峰 | 申请（专利权）人： | 北京至格科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 江晔 |
| 地址： | 102308 北京市门头沟*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种光栅表面衍射周期均一性的快速测量方法及系统，方法包括：将待测光栅样品置于基材治具上，把激光器发射的单个细光束变为多个细光束，将多个所述细光束作为入射光束依次打在待测光栅样品表面当前区域的测量点位，旋转所述待测光栅样品，确定待测光栅样品表面当前区域的测量点位的衍射周期。在每次移动待测光栅样品后，可以实现光栅表面部分区域内测量点位的衍射周期的测量，满足快速实现对同等条件下光栅表面区域周期进行均一性测试的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光栅 表面 衍射 周期 均一 快速 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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