[发明专利]一种射频电源测试系统在审
| 申请号： | 202310754270.0 | 申请日： | 2023-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN116908730A | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李冠军 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/40 | 分类号： | G01R31/40;G01R1/04;G01R19/00;G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 杨柳苑 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明实施例提供了一种射频电源测试系统，包括：负载模拟装置与所述射频电源输出端连接，用于在测试所述射频电源时，接收并执行控制指令，以模拟客户端在预设场景下的阻抗特性；上位机与所述负载模拟装置连接，用于接收预设设置指令，依据所述预设设置指令从所述预设场景中确定目标测试场景，依据所述预设设置指令确定所述目标测试场景对应的阻抗特性；依据所述目标测试场景和所述目标测试场景对应的阻抗特性生成所述控制指令并发送至所述负载模拟装置。通过本发明实施例可以在测试时，准确模拟客户端腔室阻抗特性以及设置多种预设测试场景，使得测试结果更加准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 电源 测试 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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