[发明专利]钝化接触结构、太阳能电池制造方法及太阳能电池在审

专利信息
申请号: 202310764096.8 申请日: 2023-06-26
公开(公告)号: CN116936675A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 叶继春;刘尊珂;曾俞衡;廖明墩;周鸿凯;杜浩江;张贤;刘伟;杨阵海 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/068
代理公司: 北京智宇正信知识产权代理事务所(普通合伙) 11876 代理人: 李明卓
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明实施例提供了一种钝化接触结构、太阳能电池制造方法及太阳能电池,其中,所述钝化接触结构的制造方法包括:在衬底上形成隧穿层;在所述隧穿层上形成掺杂多晶硅层;在预定区域的所述掺杂多晶硅层表面形成掩模层,所述掩模层包括氧化硅层;去除所述预定区域之外的所述掺杂多晶硅层。
搜索关键词: 钝化 接触 结构 太阳能电池 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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