[发明专利]用于激光精密加工的同轴对焦系统及安装方法、对焦方法在审
申请号: | 202310794198.4 | 申请日: | 2023-06-30 |
公开(公告)号: | CN116689952A | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 张立;潘红日;周建红 | 申请(专利权)人: | 深圳市圭华智能科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/064 | 分类号: | B23K26/064;B23K26/042;B23K26/06;B23K26/70 |
代理公司: | 深圳市添源创鑫知识产权代理有限公司 44855 | 代理人: | 于标 |
地址: | 518055 广东省深圳市龙华*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供了一种用于激光精密加工的同轴对焦系统及安装方法、对焦方法,系统包括由光源、光栅、CCD、半反射镜、透镜、全反射镜、半反射镜、激光系统、扩束镜、陶瓷电机、物镜、激光位移传感器、待加工件及共轭光路组成的投影成像光路、拍摄取像光路和激光聚焦光路。系统以同轴共轭光路为基础,结合激光位移传感器精准测量,克服了单纯光学测量及图像比较对焦法的不足,实现了高速高精度对焦及高速焦点跟随功能,为存在厚度偏差及表面形变产品的激光加工提供了最佳解决方案。 | ||
搜索关键词: | 用于 激光 精密 加工 同轴 对焦 系统 安装 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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