[发明专利]一种可见光波段相同反射率的膜层结构及其镀膜工艺在审
| 申请号： | 202310810340.X | 申请日： | 2023-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN116752094A | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 王齐齐;许波;刘月豹;吴国伟;高峰;石李武 | 申请（专利权）人： | 安徽方兴光电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京万新知识产权代理有限公司 16195 | 代理人： | 汤文旋 |
| 地址： | 233010 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开一种可见光波段相同反射率的膜层结构及其镀膜工艺，该膜层结构按次序依次包括：PET基材层、单晶硅膜层、氮化硅膜层、氧化硅膜层，在氧化硅膜层外还镀有一层五氧化二铌层，所述氮化硅膜层由三层氮化硅层组成；本发明还公开了一种制备方法，用于制备可见光波段相同反射率的膜层结构，包括以下步骤：S1.单晶硅沉积；S2.第一氮化硅层的沉积；S3.第二氮化硅层的沉积；S4.第三氮化硅层的沉积；S5.氧化硅膜层的沉积；本发明提供的膜层结构在可见光波段具有相同的反射率，颜色指标趋近于0，看上去透明无颜色，当膜材粘贴到后盖上时，肉眼无法明显分辨出膜材结构；既保持了玻璃的视觉美感，又可达到防刮伤、防摔的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可见光 波段 相同 反射率 结构 及其 镀膜 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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