[发明专利]一种基于微机电系统的SiC基半导体气体传感器在审
申请号: | 202310867322.5 | 申请日: | 2023-07-14 |
公开(公告)号: | CN116698925A | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 周清峰;万竹桉;梁健汉 | 申请(专利权)人: | 艾感科技(广东)有限公司 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;G01N27/14;B81B7/02 |
代理公司: | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人: | 何志欣 |
地址: | 528000 广东省佛山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种基于微机电系统的SiC基半导体气体传感器,包括依次堆叠的如下部分:基体,构造有空腔;加热层,具有与空腔重叠的加热丝;介电层,具有与加热丝重叠的有源区;检测层,具有与有源区重叠的感应区域;以及气敏层,部分覆盖感应区域,包含气敏材料;其中,有源区悬浮并包含于基体的空腔中,且空腔两端配置有与有源区间隔相对且在堆叠方向观察下至少部分覆盖有源区的阻挡层,其中,阻挡层配置为接收来自有源区的逃散热量并至少部分地将其返送回空腔。通过将有源区配置在空腔内并借助于阻挡层的作用,使得有源区能够长期维持在适宜的恒定工作温度状态下并减少热源浪费,以提高传感器设备的响应速率及检测准确性,有利于气敏反应的进行。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 微机 系统 sic 半导体 气体 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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