[发明专利]降低单晶炉内氧化物的隔离阀、单晶炉及方法在审
申请号: | 202310899965.8 | 申请日: | 2023-07-20 |
公开(公告)号: | CN116949569A | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 杨宗川;马玉怀;曹启刚;王黎光;徐慶晧;芮阳;张昆;王忠保;赵泽慧 | 申请(专利权)人: | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B27/02 | 分类号: | C30B27/02;C30B29/06;F16K51/00;B08B5/02 |
代理公司: | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人: | 雷洋 |
地址: | 750000 宁夏回族自*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种降低单晶炉内氧化物的方法,涉及单晶炉除杂技术领域,包括连接吹扫部、开合部,连接吹扫部包括第一法兰、第二法兰、通气管,第二法兰内开设环形空腔,第二法兰内侧均匀设置数个吹扫孔,数个吹扫孔向一个方向倾斜,吹扫孔与环形空腔连通,第一法兰、第二法兰对称设置在开合部的上方、下方,第一法兰与所述开合部上端连接,开合部下端与第二法兰连接,通气管与第二法兰连接以与环形空腔连通,通过向通气管、环形空腔的内部吹入氩气,使得氩气从吹扫孔吹出来,使得氧化物被吹扫,防止氧化物在开合部聚集、凝结,当二次加料结束后,氧化物排出,降低氧化物落入石英坩埚内的概率,进而降低晶棒的良率,减少NG次数。 | ||
搜索关键词: | 降低 单晶炉内 氧化物 隔离 单晶炉 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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