[发明专利]晶圆传输机械手系统及方法在审
| 申请号： | 202310919456.7 | 申请日： | 2023-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN116922423A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 刘强;杨平 | 申请（专利权）人： | 上海稷以科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J15/02;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 梁剑 |
| 地址： | 200241 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提出了一种晶圆传输机械手系统及方法，包括末端执行器二、末端执行器三、末端执行器四和末端执行器五，沿Z向由下到上依次设置；丝杠A和丝杠B，丝杠A用于驱动末端执行器二和末端执行器五沿Z向移动；末端执行器二、末端执行器五均与对应的丝杆螺母固定；丝杠B用于驱动末端执行器三、末端执行器四沿Z向移动；末端执行器三、末端执行器四均与对应的丝杆螺母固定；线轨A和线轨B，用于限制对应的丝杠绕Z轴旋转；末端执行器一，作为Z向的基准层，用于单独装载传输晶圆以进行单层取放模式或进行多层取放模式，其固定于一单层底座并位于末端执行器二的下方。本发明可兼顾单层和多层晶圆传输，同时自动调节多层传输机械手之间的间距。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 机械手 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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