[发明专利]一种氮化硼加工打磨装置及方法在审
| 申请号： | 202310989640.9 | 申请日： | 2023-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN116872032A | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 王柱丞;高鹏飞 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/22 | 分类号： | B24B19/22;B24B41/06;B24B41/00;B24B47/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 李玉琦 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及氮化硼加工技术领域，公开了一种氮化硼加工打磨装置及方法，装置包括：夹具，包括透明外壳及发光件，所述透明外壳内设有容纳腔，透明外壳的壳壁中空，发光件嵌在所述透明外壳的壳壁内；支撑架，支撑于夹具的一端；驱动机构，与所述夹具的另一端传动连接，驱动机构用于驱动夹具转动；脚踏开关，与所述驱动机构电连接，以控制所述驱动机构的运行。本发明在夹具旋转的过程中，使用砂纸对氮化硼的内壁进行加工打磨，在打磨的过程中，可通过发光件发出的光对氮化硼的内壁进行直观的观察，实现对氮化硼的半自动加工打磨，提高效率；且在氮化硼旋转的同时对其进行打磨，使得产出的氮化硼粗糙度光滑且均匀，有利于提高晶体的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 加工 打磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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