[发明专利]中继环碳化钽镀膜装置和方法

摘要

本发明的实施例提供了一种中继环碳化钽镀膜装置和方法，涉及长晶设备制造技术领域。装置包括真空腔体、真空抽气系统、石墨加热器和石墨桶；真空抽气系统连通到真空腔体上，真空抽气系统用于控制真空腔体内的真空度，石墨加热器安装在真空腔体的内部，石墨桶设置在石墨加热器的内部，石墨桶内的底部用于盛装钽颗粒，石墨桶内的顶部用于放置中继环；石墨加热器用于对石墨桶加热，使钽颗粒蒸发成气体、并附着到中继环的表面、与中继环上的碳发生反应形成碳化钽薄膜。装置和方法能够提高镀膜效率，而且形成的碳化钽薄膜致密、均匀。