[发明专利]一种六氟化钨纯化装置在审

专利信息
申请号: 202311003887.5 申请日: 2023-08-10
公开(公告)号: CN116891253A 公开(公告)日: 2023-10-17
发明(设计)人: 赵志鸿;吴旭飞;牛鹏飞;王娟;陈兴龙 申请(专利权)人: 昊华气体有限公司
主分类号: C01G41/04 分类号: C01G41/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 47101*** 国省代码: 河南;41
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种六氟化钨纯化装置,包括筒体、热媒夹套、冷媒盘管、波纹管密封模块;筒体包括上封头、下封头以及中间的直筒段;热媒夹套设置在筒体外下半段,冷媒盘管设置在筒体内下半段,波纹管密封模块设置在筒体内上半段;波纹管密封模块包括波纹管、连接杆和转动件;上封头顶部中心设有支座,支座中心设有螺纹孔;筒体的侧壁上设有物料进口以及若干个气相出口,各气相出口垂直并联分布,每个气相出口后均连接有隔膜阀,隔膜阀后管路汇合为气相出料总管,气相出料总管分别连接气相出料支管和放空支管;筒体侧壁和上封头上均连接有压力传感器,上封头设有排气口。该装置可避免减压精馏的处理能力下降的缺陷,同时又无吸附剂粉化风险。
搜索关键词: 一种 氟化 纯化 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昊华气体有限公司,未经昊华气体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202311003887.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 一种六氟化钨纯化装置-202311003887.5
  • 赵志鸿;吴旭飞;牛鹏飞;王娟;陈兴龙 - 昊华气体有限公司
  • 2023-08-10 - 2023-10-17 - C01G41/04
  • 本发明公开了一种六氟化钨纯化装置,包括筒体、热媒夹套、冷媒盘管、波纹管密封模块;筒体包括上封头、下封头以及中间的直筒段;热媒夹套设置在筒体外下半段,冷媒盘管设置在筒体内下半段,波纹管密封模块设置在筒体内上半段;波纹管密封模块包括波纹管、连接杆和转动件;上封头顶部中心设有支座,支座中心设有螺纹孔;筒体的侧壁上设有物料进口以及若干个气相出口,各气相出口垂直并联分布,每个气相出口后均连接有隔膜阀,隔膜阀后管路汇合为气相出料总管,气相出料总管分别连接气相出料支管和放空支管;筒体侧壁和上封头上均连接有压力传感器,上封头设有排气口。该装置可避免减压精馏的处理能力下降的缺陷,同时又无吸附剂粉化风险。
  • 六氟化钨的制备装置、系统及其方法-202310697233.0
  • 林百志;张朝春;李世荣;赖甜华;胡进军;邱玲;蓝伟雄 - 福建德尔科技股份有限公司
  • 2023-06-13 - 2023-10-10 - C01G41/04
  • 本发明公开了一种六氟化钨的制备装置、系统及其方法,包括反应筒组件,所述反应筒组件的上部设置有进粉组件,所述反应筒组件的下部设置有布气组件,所述反应筒组件的下部和进粉组件之间设置有用于进行粉末循环的粉料循环组件,所述进粉组件包括与反应筒组件顶部固定连接的储料斗,所述储料斗下部设置有分散组件,所述储料斗顶部设置有密封盖,所述密封盖上设置有用于驱动分散组件旋转的动力组件;本发明可以配合设置的动力组件,将钨粉均匀的分散开,并配合设置的升降杆和挡盘,结合凸轮槽以及套筒上的凸销,可以间歇的对分散组件下部进行遮挡,实现间歇性的供料,有助于钨粉更加充分的反应。
  • 一种电子级六氟化钨纯化装置-202310963982.3
  • 王新喜;王杰;温娜;温海涛;曲昆;孙布尔;张志鹏;薛志明 - 南大光电(乌兰察布)有限公司
  • 2023-08-01 - 2023-10-10 - C01G41/04
  • 本发明公开了一种电子级六氟化钨纯化装置,包括:加热管,用于将六氟化钨混合气加热至150℃‑400℃;缓冲罐,其一端与所述加热管相连通,另一端设置有连通管;还原塔,其底部与所述连通管相连通,顶部设置有排气管;以及填料管,且设置于所述还原塔中,且为透气结构并使得六氟化钨混合气仅能够穿过填料管从排气管排出,所述填料管中填充有钨粒,所述填料管能够根据六氟化钨混合气的进气量自动排出已使用的钨粒并填充补充新的钨粒。
  • 一种六氟化钨气体的制备方法-202310157694.9
  • 李纪明;林百志;张朝春;赖甜华;胡进军 - 福建德尔科技股份有限公司
  • 2023-02-23 - 2023-07-14 - C01G41/04
  • 本发明属于电子化工领域,尤其涉及一种三氟化氮的制备方法。所述方法包括:将含三氟化氮气体的反应气通入装有钨原料的反应器内进行反应,反应后所制得的粗品气依次通过多级冷凝器回收产物,尾气通过冷阱处理回收。本发明技术方案通过对现有六氟化钨的三氟化氮法进行改进,使得整体工艺具备高效性、连续性,无需反复停机回收再重启制备,大大降低了时间成本和能耗成本,也精简了设备、节约了设备和场地成本,提高了制备效率并能够稳定、连续地获得高纯度六氟化钨产品。
  • 一种用于六氟化钨气体的冷冻捕集器及其使用方法-201810736758.X
  • 刘传江;李芝保;王乐深 - 山东重山光电材料股份有限公司
  • 2018-07-06 - 2023-06-23 - C01G41/04
  • 本发明涉及一种用于六氟化钨气体的冷冻捕集器及其使用方法,冷冻捕集器为箱体结构,冷冻捕集器的箱体依次设为工艺气体冷却区、固体颗粒沉降区、U型翅片盘管捕集区和微孔过滤区。本发明中工艺气进入U型翅片盘管捕集区后温度进一步降低,气态、液态的六氟化钨进一步固化,并且翅片小孔结构能把绝大多数未被捕集的固体颗粒捕集,微孔过滤区把未被捕集的固体颗粒拦截;本发明大大提高了捕集收率,捕集收率在99%以上,且本发明可有效防止堵塞。
  • 一种五氯化钨的制备及纯化方法-202110992161.3
  • 马建修;靖宇;杜文东 - 福建福豆新材料有限公司
  • 2021-08-27 - 2023-02-17 - C01G41/04
  • 本发明提出一种五氯化钨的制备及纯化方法,涉及五氯化钨提纯技术领域。上述五氯化钨的制备及纯化方法包括以下步骤:预处理:将钨粉放置在上层,六氯化钨设置在下层;氯化反应:将氯气通入过量的所述钨粉表面反应制得五氯化钨粗品;纯化反应:将所述五氯化钨粗品加热至280‑300℃进行升华,再进行凝华制得高纯五氯化钨。上述五氯化钨的制备及纯化方法采用过量钨粉、氯气作为原料,六氯化钨为下层粉体保护层制备五氯化钨,再利用升华炉进行纯化,制备高纯度五氯化钨。
  • 超高纯度钨氯化物-202211472520.3
  • 伍笑晞;S·V·伊瓦诺维;N·奥斯特瓦尔德 - 弗萨姆材料美国有限责任公司
  • 2019-12-17 - 2023-01-20 - C01G41/04
  • 可冷凝金属卤化物材料例如但不限于六氯化钨和五氯化钨可以用于在化学气相沉积(CVD)或原子层沉积工艺中沉积金属膜或含金属膜。本文描述的是用于纯化六氯化钨和五氯化钨原料的高纯度六氯化钨和五氯化钨系统和方法。提供了纯化的六氯化钨和五氯化钨,其含有小于10ppm,优选小于5ppm,更优选小于1ppm,最优选小于0.5ppm的铁和/或钼,和小于10ppm,优选小于5ppm的所有其它痕量金属总和,其包括但不限于铝、钾和钠。
  • 一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置-202023118688.3
  • 林坤;王少波;张长金;马朝选;王亚峰;白雪萍;秦海庆;杨万吉 - 中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司
  • 2020-12-22 - 2022-01-25 - C01G41/04
  • 本实用新型涉及一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置,属于六氟化钨制备技术领域。所述装置包括回收罐、流化床反应器、吹扫气管、冷凝器、收集罐、压缩机、缓冲罐、含氟混合气罐以及进料机构。六氟化钨制备前,在流化床反应器中匀气盘作用下,吹扫气体可均匀分吹出,吹扫气体将流化床反应器内部进行吹扫并抽真空,制备六氟化钨时,接料盘可避免钨粉沉积在流化床反应器底部无法参与反应,保证钨粉充分反应,并且利用过滤盘将钨粉过滤,避免钨粉随着气体进入第一管道内部,提高了原料的利用率,也使得生成的六氟化钨纯度高,六氟化钨制备后,利用吹扫气管的吹扫气体进行脉冲式反吹,使附在过滤盘上的钨粉被吹下,回收罐进行回收,减少物料浪费。
  • 一种六氟化钨加工用纯化装置-202021298439.4
  • 崔翼祚 - 厚成新材料(南通)有限公司
  • 2020-07-06 - 2021-04-02 - C01G41/04
  • 本实用新型公开了一种六氟化钨加工用纯化装置,包括吸附塔本体,所述钢丝网支撑框滑接穿入吸附塔本体的内部,所述钢丝网支撑框的内部设有细网纱布袋,所述细网纱布袋的端部设有袋口,所述袋口贯穿至钢丝网支撑框的侧壁上。该装置推动第一挡块实现对钢丝网支撑框的依次推动,直至把吸附填料置入吸附塔本体的内部,再把第一挡块拧紧至进料口上,使得吸附填料安装快捷方便;拆卸时,拧动第二挡块脱离出料口,再手握打结的袋口并拉动,即可带动钢丝网支撑框脱离吸附塔本体,继而实现吸附填料的拆卸,操作快捷,省时省力,有效节约了工作时间,从而有利于提高纯化工作效率以及保证吸附填料的使用效率,即有利于保证纯化质量。
  • 一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置及方法-202011536403.X
  • 林坤;王少波;张长金;马朝选;王亚峰;白雪萍;秦海庆;杨万吉 - 中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司
  • 2020-12-22 - 2021-03-30 - C01G41/04
  • 本发明涉及一种提高原料利用率的六氟化钨制备装置及方法,属于六氟化钨制备技术领域。所述装置包括回收罐、流化床反应器、吹扫气管、冷凝器、收集罐、压缩机、缓冲罐、含氟混合气罐以及进料机构。六氟化钨制备反应前,在流化床反应器中匀气盘作用下,吹扫气体均匀分吹出,吹扫气体将流化床反应器内部吹扫并抽真空,六氟化钨制备时,接料盘可避免钨粉沉积在流化床反应器底部无法参与反应,保证钨粉充分反应,并利用过滤盘将钨粉过滤,避免钨粉随着气体进入第一管道内部,提高了原料的利用率,也使得生成的六氟化钨纯度高,六氟化钨制备后,利用吹扫气管的吹扫气体进行脉冲式反吹,使附在过滤盘上的钨粉被吹下,回收罐进行回收,减少物料浪费。
  • 一种五氯化钨的制备方法及其装置-201811501591.5
  • 彭宁;李绍兵;薛海涛;田吉英;李焌源;沈季芳;吴尔京;李春芳 - 湖南省华京粉体材料有限公司
  • 2018-12-10 - 2021-03-02 - C01G41/04
  • 本发明公开了一种五氯化钨制备方法,以四氯化钨为原料,通过真空过渡仓进料,物料输送采用磁力驱动螺旋进料器,物料在进料器末端被加热气化,通过惰性气流输送至文丘里管式混料器内与反应气高效混合;混合气进入反应室,在200~800℃下,原料与气体发生反应,得到五氯化钨粗产品。本发明设备和操作简单,设备气密性好,可实现高品质五氯化钨的连续化生产。密封的磁力驱动螺旋进料方式,既保障系统的气密性,又可实现工业连续生产;工艺流程简单,操作难度小,日常运行维护简单,有利于自动化控制。
  • 一种六氟化钨气体提纯方法-202010640505.X
  • 崔翼祚 - 厚成新材料(南通)有限公司
  • 2020-07-06 - 2020-10-23 - C01G41/04
  • 本发明公开了一种六氟化钨气体提纯方法,包括如下步骤:S1、先对精馏塔、前收集罐、后收集罐、贮罐和成品收集罐除油,清洗后烘干;S2、向精馏塔中注入六氟化钨,六氟化钨冷凝成固体,将固体六氟化钨中挥发性杂质排出至前收集罐中;S3、氮气经过加热器加热后通入精馏塔内,对精馏塔内的固体六氟化钨解冻成气态;S4、使得溶解在六氟化钨中的部分挥发性杂质进一步经由连接管释放至后收集罐内;S5、最后使得高压泵将精馏塔内气体的六氟化钨压缩至成品收集罐内,即可得到提纯后的六氟化钨。本发明的方法比较简单,通过对六氟化钨多次进行冷凝和排出六氟化钨中挥发性杂质的操作,可去除大量的挥发性杂质气体和非挥发性金属杂质。
  • 一种高纯度六氟化钨气体生产方法-202010640264.9
  • 崔翼祚 - 厚成新材料(南通)有限公司
  • 2020-07-06 - 2020-09-22 - C01G41/04
  • 本发明公开了一种高纯度六氟化钨气体生产方法,包括如下步骤:S1:将一定量的粗六氟化钨引入过滤罐中,在一定温度下使过渡金属化合物杂质吸附在过滤罐内的含碳材料上;S2:将暂存罐以及与其相连的管路抽真空,然后进行蒸馏;S3:将六氟化钨冷凝成固体后,对精馏塔进行抽真空,将固体六氟化钨中挥发性杂质排出;S4、将精馏塔内冷凝成固体的六氟化钨进行加热,使得六氟化钨融化成液体后,将六氟化钨引入至鼓泡容器内,向鼓泡容器内充入高纯惰性气体对液态六氟化钨进行鼓泡;S5、然后再重复S2‑S4的步骤2‑3次。本发明通过对粗六氟化钨的过滤、蒸馏和精馏,通过在鼓泡容器内对液态六氟化钨进行鼓泡,获得的六氟化钨的纯度更高。
  • 超高纯度钨氯化物-201911303560.3
  • 伍笑晞;S·V·伊瓦诺维;N·奥斯特瓦尔德 - 弗萨姆材料美国有限责任公司
  • 2019-12-17 - 2020-06-23 - C01G41/04
  • 可冷凝金属卤化物材料例如但不限于六氯化钨和五氯化钨可以用于在化学气相沉积(CVD)或原子层沉积工艺中沉积金属膜或含金属膜。本文描述的是用于纯化六氯化钨和五氯化钨原料的高纯度六氯化钨和五氯化钨系统和方法。提供了纯化的六氯化钨和五氯化钨,其含有小于10ppm,优选小于5ppm,更优选小于1ppm,最优选小于0.5ppm的铁和/或钼,和小于10ppm,优选小于5ppm的所有其它痕量金属总和,其包括但不限于铝、钾和钠。
  • 一种六氟化钨的合成方法-201710996957.X
  • 张建长;雷海平 - 欧中电子材料(重庆)有限公司
  • 2017-10-20 - 2019-08-13 - C01G41/04
  • 一种六氟化钨的合成方法。它是将钨粉与金属氟化物装入反应器中充分混合,在反应条件下通入氟气进行反应合成六氟化钨,未反应完的原料氟气与产物六氟化钨经过冷凝气液分离后,再返回反应器循环反应。本发明合成方法使用循环的氟气和钨粉在金属氟化物的存在下进行反应,有效提高了该反应的效率,减少了原料氟气的浪费,并有效减小反应器所需体积。
  • 一种用于六氟化钨气体的冷冻捕集器-201821068245.8
  • 刘传江;李芝保;王乐深 - 山东重山光电材料股份有限公司
  • 2018-07-06 - 2019-03-26 - C01G41/04
  • 本实用新型涉及一种用于六氟化钨气体的冷冻捕集器,冷冻捕集器为箱体结构,冷冻捕集器的箱体依次设为工艺气体冷却区、固体颗粒沉降区、U型翅片盘管捕集区和微孔过滤区。本实用新型中工艺气进入U型翅片盘管捕集区后温度进一步降低,气态、液态的六氟化钨进一步固化,并且翅片小孔结构能把绝大多数未被捕集的固体颗粒捕集,微孔过滤区把未被捕集的固体颗粒拦截;本实用新型大大提高了捕集收率,捕集收率在99%以上,且本实用新型可有效防止堵塞。
  • 一种六氟化钨制备方法及其反应器-201811078444.1
  • 李贤武;张金彪;许福胜;吴旭飞;李金勇;汤月贞 - 黎明化工研究设计院有限责任公司
  • 2018-09-03 - 2018-12-07 - C01G41/04
  • 本发明公开了一种六氟化钨制备方法及其反应器,在立式管状反应器中进行,反应器分为上下两个反应区,在反应区1的原料钨块在固体引燃剂的作用下与高纯氟气反应,反应气进入反应区2与其中的钨块和金属催化剂进一步反应,反应后氟气反应效率达到95%以上。反应器上部为反应区1,下部为反应区2,底部为集灰区;反应区1上部有氟气入口(1)和上加料口(2),反应区1底部设置有上筛板(4),反应区1外设降温夹套;反应区2上部有中加料口(3),下部有气体出口7,反应区2底部设置有下筛板(5),外部有加热系统(8)。该方法氟气反应效率高,过程控制简单,适于工业化生产。
  • 一种使用铋掺杂耐低温材料的六氟化钨纯化装置-201810866225.3
  • 王琪宇;王新 - 宁波高新区诠宝绶新材料科技有限公司
  • 2018-08-02 - 2018-10-16 - C01G41/04
  • 本发明具体涉及一种使用铋掺杂耐低温材料的六氟化钨纯化装置,本发明提供的一种使用铋掺杂耐低温材料的六氟化钨纯化装置,采用氟化钠吸附和深度冷冻分离有效去除氟化氢气体,再结合的真空排轻以及精馏等一系列的提纯手段,可去除大量的挥发性杂质气体和非挥发性金属杂质,实现生产出纯度达到99.999%以上的六氟化钨产品;使用一种铋掺杂耐低温材料,具有很好的耐低温力学性能和热膨胀系数,能够在纯化装置反复超低温条件下长期工作。
  • 高纯六氟化钨的制备方法-201611267417.X
  • 宋学章;周杰;潘波;李文;田玲玲 - 山东飞源科技有限公司
  • 2016-12-31 - 2018-09-25 - C01G41/04
  • 本发明涉及一种高纯六氟化钨的制备方法,属于氟化工技术领域。所述的方法是将三氟化氮气体通入装有催化剂的裂解器中进行裂解,然后将裂解得到的氟氮混合气与钨粉进行反应,冷凝后得到六氟化钨粗品,经蒸馏、精馏后得到纯度高达99.999%的六氟化钨。本发明的制备方法安全经济,催化剂的引入使得原料气中并不需要额外引入氮气来保证反应的安全性,得到的产品纯度高达6N级,后续的处理成本也得到降低,经济环保,工业应用价值大。
  • 一种六氟化钨的流化床合成装置-201711475373.4
  • 梁永强;于青玉;王绍峻 - 和立气体(上海)有限公司
  • 2017-12-29 - 2018-04-20 - C01G41/04
  • 本发明公开了一种六氟化钨的流化床合成装置,属于六氟化钨制备装置技术领域。包括流化床反应器、进料管、输料管、进气管、氮气吹扫气罐、定量料斗、加热器、冷凝器、收集罐、空压机、缓冲罐和含氟混合气罐,所述流化床反应器上设有进料口、进气口和排气口,所述进料管将进料口和所述定量料斗连接,所述输料管将排气口和冷凝器连接,所述进气管将进气口和所述含氟混合气罐连接,所述氮气吹扫气罐通过管道与定量料斗连通,所述冷凝器的出液口通过管道与所述收集罐连通,冷凝器末端的出口通过管道与所述空压机、所述缓冲罐顺次连接,缓冲罐通过管道与进气管连通。本发明无需频繁加料,金属钨粉呈流化状态,制备效率高且收集简单、不会夹带钨粉。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top