[发明专利]一种碳化硅表面抛光设备及抛光方法在审
| 申请号： | 202311078584.X | 申请日： | 2023-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN116922246A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 沈健;胡志华 | 申请（专利权）人： | 航菱微（泰州）科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/04 | 分类号： | B24B29/04;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225500 江苏省泰*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种碳化硅表面抛光设备及抛光方法，包括移动组件，所述移动组件包括基板、电动升降柱、方孔、横支臂，本发明通过夹持块对碳化硅本体进行夹持固定，启动电动升降柱使抛光轮和碳化硅本体接触，同时启动打磨电机带动抛光轮转动，从而对碳化硅本体进行打磨，通过启动大电机带动齿轮转动，从而推动横支臂移动，使抛光轮对碳化硅本体进行纵向移动打磨，通过启动伺服电机带动滑块底部的电机安装筒移动，使抛光轮对碳化硅本体进行横向移动打磨，通过抛光轮的横向和纵向移动，从而便于对尺寸较大的碳化硅进行移动式的全面的抛光，通过螺丝将连接套筒和抛光轮进行固定，从而便于更换不同大小的抛光轮，进而提高了碳化硅抛光设备利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 表面 抛光 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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