[发明专利]一种晶圆减薄系统及减薄方法在审
| 申请号： | 202311194843.5 | 申请日： | 2023-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN116922183A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李国强;衣新燕 | 申请（专利权）人： | 广州市艾佛光通科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B7/06;B24B27/00;B24B41/00;B24B49/10;H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超 |
| 地址： | 510700 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种晶圆减薄系统及减薄方法，其中，晶圆减薄系统包括依次设置的第一转移机构、第一输送机构、第二转移机构，以及依次设置在第一输送机构上的粗打磨机构、精打磨机构及检测机构；晶圆减薄系统还包括多个用于承载晶圆的承载机构、首尾两端与第一转移机构和第二转移机构连接的第二输送机构以及控制器；控制器用于控制第一输送机构步进式输送多个承载机构，并控制粗打磨机构、精打磨机构及检测机构依次对承载机构上的晶圆进行粗打磨、精打磨及厚度检测处理；该晶圆减薄系统能对晶圆进行粗打磨处理、精打磨处理及厚度检测处理，实现对晶圆的连续化减薄加工，并提高晶圆减薄处理的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆减薄 系统 方法 | ||
【主权项】：
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- 王景东 - 福建南安市展锋石材有限公司
- 2023-02-27 - 2023-10-10 - B24B7/22
- 本实用新型涉及石材加工的技术领域，特别是涉及一种石材台面镜面加工装置，其便于固定，提高工作效率，增强实用性；包括加工台，加工台底端均匀固定安装有四个脚轮，加工台顶端固定安装有打磨机构，限位机构包括两个固定块，两个固定块均固定安装在加工台顶端，两个固定块的一端开设有螺纹孔，两个螺纹孔内均螺装有螺杆，两个螺杆内端均转动安装有第一夹板，两个第一夹板外端均固定安装有限位杆，两个固定块上均开设有限位孔，两个限位杆分别与两个限位孔滑动连接，两个第一夹板上均设置有辅助夹紧机构，用于辅助夹紧石材，将待加工石材放在加工台上，旋转两个螺杆，分别与两个螺杆螺装的两个第一夹板相互靠近。
- 一种高效磨光机构-202320899252.7
- 张守本;吴从立 - 新乡市瑞特机械有限公司
- 2023-04-20 - 2023-10-03 - B24B7/22
- 本实用新型公开了一种高效磨光机构，包括连接板和安装在连接板上的打磨组件，所述连接板为带有箱盖的箱体结构，箱体结构内设置有主动齿轮，主动齿轮由外部减速机的输出轴驱动；所述打磨组件设置有两组，每组打磨组件均包括从动齿轮、从动轴和磨光盘，从动齿轮位于箱体结构内并与从动轴传动连接，主动齿轮通过传动组件同时带动两个从动齿轮朝相反方向转动，所述磨光盘安装在从动轴底端，且磨光盘为齿状结构，两个磨光盘之间相互啮合。本实用新型能够解决现有漏粪板打磨工序中需不断人工刮料的问题。
- 一种普通卧式平面磨床的数控操作装置-202320940772.8
- 许建峰 - 北京石晶光电科技股份有限公司
- 2023-04-24 - 2023-10-03 - B24B7/22
- 一种普通卧式平面磨床的数控操作装置，数控装置包括固定设置在磨床机体上的电控主体机箱，电控主体机箱通过连接管连接人机交互机箱，人机交互机箱上设置触摸屏、按钮，触摸屏、按钮与PLC通信连接；驱动装置包括从动同步带轮、步进电机，步进电机的输出轴上固定设置主动同步带轮，主动同步带轮、从动同步带轮通过同步带同步连接，步进电机通过动力电缆与步进电机细分驱动器连接；限位装置包括前限位行程开关、后限位行程开关、前限位挡块、后限位挡块。利用本实用新型可以将普通卧式平面磨床改造成数控化操作装置，劳动强度大幅降低，尺寸磨削精度能够达到±0.01mm，安全性得到了彻底解决，提高了效率。
- 一种蜂窝石材复合板加工磨削机构-202321110197.5
- 洪旭;吴小兰 - 厦门薪鑫星新材料科技有限公司
- 2023-05-10 - 2023-10-03 - B24B7/22
- 本实用新型公开了一种蜂窝石材复合板加工磨削机构，属于蜂窝石材板加工领域，其包括底座，底座的上端面四角处均固定连接有支撑柱。本实用新型的蜂窝石材复合板加工磨削机构，通过设置旋转电机、螺纹杆、滑块、连接杆以及推板可有效的方便了在进行磨削的过程中推动蜂窝石材复合板，避免了工作人员在进行磨削时的直接接触，有效的保证了工作人员的人身安全。通过设置落料槽以及斜板实现了对磨削后的废料进行收集的效果，废料可通过斜板在重力的作用下进行滑落。通过设置吸尘组件可使得在进行磨削的过程中能够吸收因石材与砂轮片之间的摩擦而导致的粉尘，减少了对环境的污染以及避免了工作人员的吸入，有效的保证了工作人员的人身安全。
- 晶片研削方法及晶片研削机-202311109996.5
- 高阳;沈海丽;孙志超;朱慧家;徐基应;周旭平 - 江苏京创先进电子科技有限公司
- 2023-08-31 - 2023-09-29 - B24B7/22
- 本发明属于晶片研削技术领域，公开了一种晶片研削方法及晶片研削机，该晶片研削方法包括：承片台位于上料位置，位于上料位置的承片台和磨轮沿第一水平方向间隔排列，将晶片放置于承片台上，并使晶片的中心位于承片台的轴线上；根据晶片的尺寸选择相适配的磨轮；驱动承片台沿第一水平方向移动第二预设距离，第二预设距离被选取为等于位于上料位置的承片台的轴线与磨轮的轴线的间距减去磨轮的半径的差值。由于本发明中的承片台的行程能够根据磨轮的尺寸自动调整，而无需由工作人员反复调试，从而省去了工作人员反复调试承片台的行程的过程，省时省力，进而能够提高生产效率。
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