[发明专利]一种阳极键合的光电镊芯片在审
| 申请号： | 202311195462.9 | 申请日： | 2023-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN116920975A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 冯林;熊弘毅;赵嘉伟;张鹏;王海喜;高涌佳 | 申请（专利权）人： | 微纳动力（北京）科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 苏忠畅 |
| 地址： | 100000 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及生物芯片领域，更具体的说是一种阳极键合的光电镊芯片，包括流道顶部ITO层、玻璃透光层、流道层、光电薄膜层和下极板层；玻璃层、流道层、光电薄膜层和下极板层组成包封液体的密封立方体结构；优选的，所述流道层设置在玻璃透光层内，流道层是通过在玻璃透光层上刻蚀加工制成；优选的，所述光电薄膜层的材质是光电薄膜材料；优选的，所述光电薄膜层可以是一种NPN型光电晶体管；本发明的有益效果为通过刻蚀技术制造的光电镊流道图案，并且实现了微流道与上极板的集成，使键合步骤仅需要一步，减少了传统光电镊芯片需要两步键合的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阳极 光电 芯片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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