[实用新型]框架门固定装置及化学气相沉积设备有效
| 申请号： | 202320015468.2 | 申请日： | 2023-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN219586180U | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 郑盈箕;李踵荣;罗敬勋;姜先美;金明石;崔赞龙;金圭燦;金东宰;咸振植;寓尚润;李东焕;申熙哲;康泰一 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司;盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种框架门固定装置及化学气相沉积设备，其中的装置包括框架门固定装置，其特征在于，包括设置在框架门的门板中部位置的把手以及与把手连接的上限位杆和下限位杆；其中，在框架门的门框上设置有与上限位杆位置对应的上限位孔，以及与下限位杆位置对应的下限位孔；把手用于带动上限位杆和下限位杆运动，以使上限位杆插入或脱离上限位孔，下限位杆插入或脱离下限位孔。利用上述实用新型能够确保对门板进行有效的定位，防止门板晃动产生噪声或变形。 | ||
| 搜索关键词： | 框架 固定 装置 化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
