[实用新型]一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽有效
| 申请号： | 202320221186.8 | 申请日： | 2023-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN219695621U | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 安礼余;王定国 | 申请（专利权）人： | 宇弘研科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 苏州智远浅行知识产权代理事务所(普通合伙) 32693 | 代理人： | 唐婷婷 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种可防溅出的涂胶显影液盛装槽，包括防溅盖板件，所述防溅盖板件的下表面活动连接有涂胶显影液盛装槽体，所述涂胶显影液盛装槽体靠近背面和底部的右侧面活动套接有活塞件，所述防溅盖板件的结构包括有遮挡板，所述遮挡板下表面的四周固定连接有凸卡扣；该可防溅出的涂胶显影液盛装槽中，通过设置有防溅盖板件的结构，在涂胶显影液盛装槽体上表面增加了遮挡板的防溅阻挡板块，并在遮挡板上开设有透气孔，实现涂胶显影液盛装槽在工作过程中，不用敞口操作的同时，也能保证空气的流动性功能，达到了避免工作人员在操作过程中，涂胶显影液因振荡造成的液体飞溅而伤害人员皮肤的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅出 涂胶 显影液 盛装 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宇弘研科技（苏州）有限公司，未经宇弘研科技（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202320221186.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种双螺杆造粒机的上料装置
- 下一篇：一种异十六酸加工用废液处理装置
