[实用新型]一种可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置

摘要

本实用新型涉清洗设备技术领域，特别是涉及了一种可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置；其可提高湿式设备清洗药液洁净度的装置，可对循环药液进行充分净化处理，降低喷淋嘴堵塞事故发生率，有效保证喷淋压力，有效提高清洗蚀刻效果；包括：设备槽体，设备槽体内安装有喷淋管组；供液过滤机构，供液过滤机构包括抽液泵和过滤芯，过滤芯安装于抽液泵的输出端；药液槽和回流过滤组件，药液槽通过回流过滤组件与设备槽体连通；回流过滤组件上安装有回流滤芯。回流过滤组件包括进液管、回液管和两流向反向布置的回流过滤管路，回流过滤管路包括管体、排液阀和安装于管体两侧的开关阀，回流滤芯位于两排液阀之间。