[实用新型]一种高纯碲化镓多晶合成装置有效
| 申请号： | 202321220322.8 | 申请日： | 2023-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN219793195U | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 卢鹏荐;曾小龙;张林;李鹏武;袁珊珊 | 申请（专利权）人： | 武汉拓材科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/04 | 分类号： | C30B28/04;C30B29/46;C01B19/04 |
| 代理公司： | 武汉天领众智专利代理事务所(普通合伙) 42300 | 代理人： | 高兰 |
| 地址： | 436000 湖北省鄂州*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯碲化镓多晶合成装置，属于半导体材料制备技术领域，其包括机架，所述机架下连接有底座，所述机架内转动连接有转式套筒，所述机架外设有控制面板，所述转式套筒内设有石英管体，所述石英管体上卡接有石英帽，所述石英帽内设有调节结构，所述石英管体内开设有卡槽，所述调节结构与卡槽相连接，所述定位结构与石英管体相搭接。该高纯碲化镓多晶合成装置，通过设置石英管体、石英帽、调节结构和卡槽，该合成装置通过斜块、齿轮、齿板和卡槽之间的配合，使得石英管体和石英帽能够实现快速拆装的功能，无需反复切割更换石英管体以及石英帽，保障了石英管体和石英帽的使用寿命，从而降低了不必要的加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 碲化镓 多晶 合成 装置 | ||
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- 本发明公开了一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置，包括炉体，所述炉体内的一周侧壁上等间距固定有八个固定块，同一水平面上的四个固定块为一组，两组固定块的相对一侧均设有第一插槽，同一水平面上的第一插槽为一组，所述炉体内设有第二筒体和两个第一筒体，所述第二筒体的上下两端均等间距设有四个第二插槽；本发明还提出了一种多品硅热场坩埚用分体式隔热装置的使用方法。本发明解决了不方便对隔热装置进行拆解的问题，同时也解决隔热装置发生变形或损坏时不方便进行维修和更换的问题，降低了作人员的劳动强度，提高了工作效率，有效的规避了对整个装置进行更换所造成成本增加的情况发生，提高了稳定性，同时还增强了保温隔热效果。
- 一种炉压自动控制的硅芯铸锭炉-201821957776.2
- 许永根 - 浙江晶阳机电有限公司
- 2018-11-26 - 2019-07-23 - C30B28/04
- 本实用新型公开了一种炉压自动控制的硅芯铸锭炉，包括炉体，炉体上安装与所述炉体的内腔连通的第一连接管，第一连接管连接智能阀，智能阀通过电连接智能阀控制器；还包括真空压力计；真空压力计通过电连接智能阀控制器。在硅芯铸锭过程中，采用本方案的炉压自动控制系统，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的控制精度低、产品质量差的现象；炉压自动控制系统，减少人为控制炉压的时间和劳动强度，提高控制的准确性；炉压自动控制系统，利用自动控制硅芯铸锭的炉压，有效的降低因炉压过高等因素对设备的影响，防止设备因炉压过高而发生事故，同时，因为其安全性高，便于推广。
- 一种多晶铸锭用坩埚涂层的制备方法-201910192533.7
- 张泽兴;刘世龙;路景刚 - 包头美科硅能源有限公司
- 2019-03-14 - 2019-07-16 - C30B28/04
- 本发明涉及一种多晶铸锭用坩埚涂层的制备方法，包括如下步骤：将耐高温隔热保温涂料均匀涂覆在坩埚本体低温区域外侧壁，使刷涂后坩埚表面无明显可视裸露的石英存在，独立密闭空间高温烘烤使其固化在坩埚外侧壁上，冷却后取出；所述耐高温隔热保温涂料由纳米陶瓷微珠、硅酸盐化合物和水组成，所述低温区域是指坩埚内晶粒斜向内生长的部分。本发明得到的多晶铸锭用坩埚涂层与坩埚表面的吸附性好，粘结强度高，不易遭到破坏，温度分布均匀，有利于形成中间微凸的长晶界面，提高了多晶硅片的转换效率。
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