[发明专利]金属离子含量低的4,4’－[1－[4－[1－(4－羟基苯基)－1－甲基乙基]苯基]－1,1－亚乙基]双酚及其光敏抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 96197304.8 | 申请日： | 1996-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN1092176C | 公开（公告）日： | 2002-10-09 |
| 发明（设计）人： | M·D·拉曼;D·P·奥宾 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | C07C39/15 | 分类号： | C07C39/15;C07C29/76;C08G8/08;G03F7/022 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 黄淑辉 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供制备金属离子含量低的TPPA的方法，采用了处理过的离子交换树脂。还提供了从这种TPPA制备光敏抗蚀剂组合物的方法，以及采用这种光敏抗蚀剂组合物生产半导体器件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 离子 含量 羟基 苯基 甲基 乙基 及其 光敏 抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种制备金属离子含量低的4，4’-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]-1，1-亚乙基]双酚的方法，包括：a)用去离子水清洗酸性离子交换树脂，随后用无机酸溶液清洗，再用去离子水清洗，从而降低离子交换树脂中钠和铁离子含量至各低于200ppb；b)用去离子水清洗阴离子交换树脂，随后用无机酸溶液清洗，再用去离子水清洗，然后用氢氧化铵溶液清洗，再用去离子水清洗，从而降低阴离子交换树脂中钠和铁离子含量至各低于200ppb；c)制备在去离子水中的4，4’-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]-1，1-亚乙基]双酚浆，固含量1-20％，并过滤得到滤饼；d)将滤饼倒入去离子水中，再制备浆液，固含量1-20％，并过滤；e)制备4，4’-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]-1，1-亚乙基]双酚的滤饼在极性溶剂或极性溶剂混合物中的溶液；f)将4，4’-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]-1，1-亚乙基]双酚溶液通过所述阳离子交换树脂，随后通过所述阴离子交换树脂，从而降低所述4，4’-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]-1，1-亚乙基]双酚溶液中的金属离子含量至各低于100ppb；g)将4，4’-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]-1，1-亚乙基]双酚溶液加入去离子水中，从而沉淀出4，4’-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]-1，1-亚乙基]双酚；h)通过过滤器过滤4，4’-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]-1，1-亚乙基]双酚，并且干燥4，4’-[1-[4-[1-(4-羟基苯基)-1-甲基乙基]苯基]-1，1-亚乙基]双酚。
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