[实用新型]大容量高分子湿敏元件无效
| 申请号： | 99244116.1 | 申请日： | 1999-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN2397609Y | 公开（公告）日： | 2000-09-20 |
| 发明（设计）人： | 郝光宗;邢丽缘;梁强威 | 申请（专利权）人： | 清华同方股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/00 | 分类号： | H01L49/00;G01N27/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于通过电容变化检测气氛湿度的湿敏元件。它是在绝缘基片上置一层下电极和上电极引出点的金属薄膜,然后涂覆高分子感湿膜。在与上电极引出点位置对应的感湿膜上光刻出数个小孔,感湿膜上再置一层上电极的金属膜并由小孔与上电极引出点连接在一起。同现有技术相比,它有效地利用了基片面积,可使湿敏元件的电容值在50%RH处高于250PF,是现有电容元件的4倍以上。具有电容量大、体积小、测量准确度高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 容量 高分子 元件 | ||
【主权项】：
1.一种大容量高分子湿敏元件，它包括绝缘基片(1)，其特征在于：所述绝缘基片(1)上置有一下电极(2)和上电极引出点(3)的金属薄膜，在这有下电极(2)和上电极引出点(3)的绝缘基片(1)上涂敷高分子感湿膜(4)，在与上电极引出点(3)位置对应的感湿膜(4)上光刻出数个小孔(5)，感湿膜(4)上再置有一层上电极(6)的金属薄膜并通过感湿膜(4)上的小孔(5)与上电极引出点(3)牢固地连接在一起，下电极(2)的引脚点和上电极引出点(3)焊在所设引脚座(7)的引脚上，引脚座(7)上安装可包容感湿片的保护罩(8)。
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