一种宽光谱物镜波像差的测算方法及系统

专利号：CN202210021978.0

公布日：2022-08-16

申请人：上海精积微半导体技术有限公司

一种波像差校正系统与方法

专利号：CN201010155819.7

公布日：2011-11-09

申请人：上海微电子装备有限公司

一种软X射线-真空紫外光学系统的设计方法及光学系统

专利号：CN202310036674.6

公布日：2023-05-09

申请人：莆田学院

一种波像差检测系统及测量方法

专利号：CN201711244709.6

公布日：2019-06-07

申请人：上海微电子装备（集团）股份有限公司

波像差校正装置及方法

专利号：CN201110051545.1

公布日：2012-09-05

申请人：上海微电子装备有限公司

波像差测量模块的畸变测量装置和畸变校正方法

专利号：CN201410582052.4

公布日：2017-12-01

申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所

一种波像差测量方法、波像差测量装置及光刻机

专利号：CN201910551270.4

公布日：2020-12-25

申请人：上海微电子装备（集团）股份有限公司

像差校正器件及激光显微镜

专利号：CN201380025759.9

公布日：2017-08-15

申请人：西铁城时计株式会社

一种微缩投影系统波像差检测系统及波像差检测方法

专利号：CN201510962446.7

公布日：2017-01-18

申请人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

显微镜物镜计算机辅助装调方法

专利号：CN201810907506.9

公布日：2021-01-05

申请人：宁波舜宇仪器有限公司

一种空间位置变化前后两次检测波像差残差的计算方法

专利号：CN202011434660.2

公布日：2023-09-19

申请人：中国科学院光电技术研究所

利用刀口作为检测标记的波像差检测系统及检测方法

专利号：CN201610115183.0

公布日：2018-04-17

申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所

一种光刻成像系统波像差优化方法、装置、设备及介质

专利号：CN202210094255.3

公布日：2023-08-04

申请人：中国科学院微电子研究所

一种波像差测量标记及波像差测量方法

专利号：CN201210183465.6

公布日：2013-12-25

申请人：上海微电子装备有限公司

自适应光学系统、曝光系统、波像差调节方法及设备

专利号：CN202311111061.0

公布日：2023-09-29

申请人：光科芯图（北京）科技有限公司