等离子体处理装置、腔室内部件以及腔室内部件的寿命检测方法

专利号：CN200910009403.1

公布日：2009-09-30

申请人：东京毅力科创株式会社

拉幅机用腔室内部清洁装置

专利号：CN202210137649.2

公布日：2022-12-13

申请人：日星机械工业株式会社

扩散腔室内部的气流的设计

专利号：CN201780042800.1

公布日：2023-07-18

申请人：应用材料公司

灭菌器腔室内部安全装置

专利号：CN201520831427.6

公布日：2016-04-13

申请人：山东新华医疗器械股份有限公司

腔室内部开门装置及灭菌柜

专利号：CN201921489051.X

公布日：2020-06-26

申请人：楚天科技股份有限公司

腔室内部处理方法及基板处理方法

专利号：CN202111541188.7

公布日：2023-01-13

申请人：圆益IPS股份有限公司

基板处理设备和清洁腔室内部的方法

专利号：CN202010460156.3

公布日：2020-12-15

申请人：ASMIP私人控股有限公司

一种反应腔室内部工艺状态监控方法

专利号：CN200610165462.4

公布日：2008-06-25

申请人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

室内腔室

专利号：CN201520083171.5

公布日：2015-07-22

申请人：安徽师范大学

可控环境的居住系统

专利号：CN202022074358.2

公布日：2021-10-08

申请人：北京哨特技术有限公司

用于分子和组织诊断的多腔室组织保持系统

专利号：CN200880120031.3

公布日：2010-11-24

申请人：贝克顿·迪金森公司

果蔬制冷保鲜装置以及果蔬保鲜方法

专利号：CN202310753651.7

公布日：2023-09-19

申请人：珠海格力电器股份有限公司

一种妇产科临床护理用换药托盘

专利号：CN202120328877.9

公布日：2021-12-14

申请人：肖丽

一种原位清洁MOCVD反应腔室的方法

专利号：CN201210364956.0

公布日：2013-01-30

申请人：中微半导体设备（上海）有限公司

用于处理静电卡盘的装置

专利号：CN202222327347.X

公布日：2023-04-07

申请人：恩特格里斯公司