钇系高温超导薄膜的制备方法,采用钇系超导薄膜用前驱溶液制备凝胶薄膜,然后干燥得到凝胶干膜后热分解,冷却至室温后通入干氮气,温度升至600~650℃时将气氛切换成H2O/H2O2/N2或H2O/H2O2/Ar混合气氛后升温至740~790℃保温,然后将气氛切换成干氮气保温后冷却,当温度降至400~500℃后将气氛切换成干氧气并保温,最后冷却至室温后将气氛关闭,即得到钇系高温超导薄膜。本发明制备方法在740~790℃保温过程中采用H2O/H2O2/N2或H2O/H2O2/Ar混合气氛,降低了工业成本;同时H2O2在高温下分解后产生活性氧,使得薄膜具有良好的超导效应,且制备过程简单,工艺稳定。
钇系高温超导薄膜的制备方法,其特征在于,具体按照以下步骤实施:步骤1,采用钇系超导薄膜用前驱溶液制备凝胶薄膜,然后将凝胶薄膜干燥,得到凝胶干膜;步骤2,将步骤1得到的凝胶干膜转入石英管式炉中进行热分解;步骤3,对经过步骤2处理的凝胶干膜通入干氮气,温度升至600~650℃时将气氛切换成H2O/H2O2/N2混合气氛或H2O/H2O2/Ar混合气氛后升温至740~790℃保温,然后将气氛切换成干氮气保温后冷却,当温度降至400~500℃后将气氛切换成干氧气并保温,最后冷却至室温后将气氛关闭,即得到钇系高温超导薄膜。
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