本发明涉及一种开口型MIM(金属‑介质‑金属)波导结构,包括主体,所述主体上方设置有光通道;所述光通道的上方设置有谐振腔;所述谐振腔内设置有谐振环;所述谐振环上设置有开口;该开口型MIM波导结构,具有体积小,易于集成,灵敏度高的优点,通过在主体内设置方形环,在方形环内部设置开口的圆环,从而形成不同的等离激元共振,形成杂化形的等离激元共振,所产生的共振类型较为稳定,从而提高了波导的Q因子,使得波导的Q因子更加的稳定,另外,由于开口的圆环导致圆环上传播的等离激元共振发生隔断,形成驻波模式,与长波导耦合,形成更窄的透射峰。当该结构用来制作传感器时,缺口处的介质的折射率将严重影响共振模式,从而实现更高灵敏度的传感器。
1.一种开口型MIM波导结构,其特征在于:包括主体(1),所述主体(1)上方设置有光通道(2);所述光通道(2)的上方设置有谐振腔(3);所述谐振腔(3)内设置有谐振环(4);所述谐振环(4)上设置有开口(5)。
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