本发明涉及一种逐层减薄石墨烯的方法,其特征在于首先利用等离子灰化技术,用等离子轰击多层石墨烯,然后在高温炉中退火以去除顶层石墨烯,实现高精度的减薄石墨烯。通过多次等离子体轰击和高温退火可以实现逐层减薄多层石墨烯。该发明特征在于将等离子技术对石墨烯改性和石墨烯各向异性的氧化过程相结合,对多层石墨烯进行精确刻蚀,能够实现单原子层精度减薄多层石墨烯,并且保留了减薄后石墨烯的优良性能。其应用领域包括制备石墨烯纳米结构及石墨烯电子器件等。
一种逐层减薄石墨烯的方法,其特征在于:结合等离子灰化技术对石墨烯改性和石墨烯各向异性的氧化过程,具体是首先利用等离子灰化技术,用等离子轰击多层石墨烯引入缺陷,然后在低氧分压和短时间的高温炉中退火以去除多层石墨烯中的顶层石墨烯,实现分层石墨烯的减薄;通过多次等离子处理及高温退火处理,实现逐个原子层减薄石墨烯。
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