【摘要】
本实用新型涉及一种加热板支撑定位装置,具体地讲是涉及一种化学气相沉积工艺中加热板支撑定位装置。该装置包括加热板和固定支撑装置,固定支撑装置下端与反应腔室底部连接,加热板上的四个角为经切割的斜边,斜边与通过加热板中心的对角线呈90度;加热板两个长边的正中间位置和四个斜边均设有与固定支撑装置相连接、固定的单元;固定支撑装置上端与加热板可调式连接。该装置结构简单、能够解决加热板支撑和定位的问题,同时保持加热板温度均匀性,防止热损失,还可调节加热板的水平,且拆卸维护方便。
【附图】
【权利说明书】
1. 一种加热板支撑定位装置,包括加热板和固定支撑装置,固定支撑装置下端与反应腔室底部连接,其特征在于所述加热板上的四个角均为经切割的斜边,斜边与通过加热板中心的对角线呈90度;加热板两个长边的正中间位置和四个斜边均设有与固定支撑装置相连接、固定的单元;固定支撑装置上端与加热板可调式连接。
2. 根据权利要求1所述的加热板支撑定位装置,其特征在于所述临近每个斜边的加热板内侧下部开有与斜边平行的槽,斜边侧面开有两个螺丝孔。
3. 根据权利要求1所述的加热板支撑定位装置,其特征在于所述固定支撑装置包括支撑支撑柱本体和紧固螺丝。
4. 根据权利要求3所述的加热板支撑定位装置,其特征在于所述支撑柱本体为L型,弯折处呈90度角,下端为与腔室底部平行的支撑面。
5. 根据权利要求1所述的加热板支撑定位装置,其特征在于所述支撑面上开有用于与腔室底部螺纹连接的两个以上的孔,支撑体本体上端开有两个与加热板螺纹连接的可支持上下调节加热板高度的孔,两个孔开有圆弧形的凹槽。
6. 根据权利要求5所述的加热板支撑定位装置,其特征在于所述支撑柱本体上端与加热板螺纹连接的两个可支持上下调节加热板高度的孔为圆条形孔。
7. 根据权利要求1或6所述的加热板支撑定位装置,其特征在于所述与固定支撑装置相连接、固定的单元为通过支撑柱本体上端的两个孔与支撑体本体螺纹连接的结构。
8. 根据权利要求3-6中任意一项所述的加热板支撑定位装置,其特征在于所述支撑柱本体上除上下两端外的中间部分开有若干孔。
9. 根据权利要求8所述的加热板支撑定位装置,其特征在于所述支撑柱本体材质为不锈钢或不锈钢与其它金属的合金。
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