[发明专利]提取组件及坩埚提取装置、坩埚提取方法有效

专利信息
申请号: 201811133489.4 申请日: 2018-09-27
公开(公告)号: CN109176448B 公开(公告)日: 2019-11-26
发明(设计)人: 乔小平 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: B25J1/00 分类号: B25J1/00;C23C14/24
代理公司: 44280 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 钟子敏<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 传动轴 刚性球 坩埚 提取组件 提取装置 容器开口 往返运动 相对两侧 支撑件 分设 申请 垂直 承载
【权利要求书】:

1.一种提取组件,用于提取具有开口的容器,其特征在于,所述提取组件包括传动轴、至少两个刚性球及承载所述刚性球的支撑件,所述至少两个刚性球中的两个分设于所述传动轴的相对两侧,且两个刚性球的直径位于所述传动轴的同一条直径上,所述传动轴可沿垂直于所述容器开口的方向往返运动,其中,所述传动轴沿第一方向移动时传动所述刚性球,所述两个刚性球的径向尺寸大于所述容器的开口尺寸,所述传动轴沿与第一方向相反的第二方向移动时与所述刚性球脱离接触,所述两个刚性球的径向尺寸可小于所述容器的开口尺寸;

其中,所述支撑件为套筒,所述套筒包括筒壁及与所述筒壁连接且朝向所述套筒中心延伸的多个延伸部,所述多个延伸部在套筒的延伸方向上分两层设置,所述刚性球夹设于两层延伸部之间,且可沿所述套筒的径向往返运动;所述传动轴插置于所述套筒的筒壁内。

2.根据权利要求1所述的提取组件,其特征在于,所述刚性球的数量为四个,四个所述刚性球两两分组设置,且任一组的两个刚性球的直径位于所述传动轴的同一条直径上。

3.根据权利要求1所述的提取组件,其特征在于,所述刚性球的截面呈圆形或椭圆形。

4.根据权利要求1所述的提取组件,其特征在于,所述传动轴与所述套筒通过螺纹实现套合。

5.根据权利要求2所述的提取组件,其特征在于,所述传动轴邻近所述刚性球的一端为尖端。

6.根据权利要求1所述的提取组件,其特征在于,所述提取组件还包括旋柄,所述旋柄垂直设置于所述传动轴远离所述刚性球的一端。

7.一种坩埚提取装置,其特征在于,所述坩埚提取装置包括上述权利要求1~6任一项所述的提取组件。

8.一种坩埚提取方法,其特征在于,所述坩埚提取方法包括:

提供一如权利要求1所述的提取组件,所述提取组件包括传动轴、至少两个刚性球及承载所述刚性球的支撑件,所述至少两个刚性球中的两个分设于所述传动轴的相对两侧,且两个刚性球的直径位于所述传动轴的同一条直径上,所述传动轴可沿垂直于所述坩埚开口的方向往返运动;

将所述支撑件的一端和所述刚性球插置于所述坩埚中;

沿第一方向移动所述传动轴以传动所述刚性球,使得所述两个刚性球的径向尺寸大于所述坩埚的开口尺寸;

保持所述两个刚性球的径向尺寸大于所述坩埚的开口尺寸,并沿与第一方向相反的第二方向移动所述提取组件直至取出所述坩埚;

在取出所述坩埚之后,沿所述第二方向移动所述传动轴以使所述传动轴与所述刚性球脱离接触,所述两个刚性球的径向尺寸小于所述容器的开口尺寸,并将所述支撑件的一端和所述刚性球从所述坩埚被取出。

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