[发明专利]一种真空泵的预测维护系统及方法及真空泵自动采购系统

说明书

本发明公开了一种真空泵的预测维护系统及方法及真空泵自动采购系统，本系统通过采集真空泵实时运行数据，基于真空泵实时运行数据得到真空泵的实时运行状态；基于真空泵实时运行数据和对应的实时运行状态，判断真空泵在当前实时运行状态下的实时运行数据是否异常；基于真空泵在指定时间间隔内的实时运行数据，计算真空泵运行数据的变化率，判断真空泵运行数据变化率是否异常；基于真空泵实时运行数据和历史运行数据，计算间隔预设时长后真空泵预测运行数据，基于真空泵预测运行数据，计算真空泵健康度；本系统能够实时监控真空泵状态；通过状态报警、变化率报警、健康度预测提前发现真空泵异常，减少计划外停线以及突发故障带来的原材料损失。

技术领域

本发明涉及智能监测领域，具体地，涉及一种真空泵的预测维护系统及方法及真空泵自动采购装置。

背景技术

在面板、半导体等高端制造行业的生产过程中，多个环节需要用到真空工艺，常使用支持简单远程或串行控制，采用空气冷却的单相智能干泵，具有操作安静、结构紧凑、占用空间小等特点，但是成本较高。由于大量用在关键工艺环节，一旦突发故障，将严重影响生产质量、效率，甚至造成高价值的原材料报废。

智能真空泵一般只能由厂家维修，平时定期巡检采用目视检查方法，主要目的是确保电源线、软管和管道状态良好，所有连接安全牢固。因使用频率和真空度要求不同，导致真空泵之间的状态差异较大，难以制定维护、更换计划。目前主要采用被动维护，即达到设计寿命或发生故障，才更换、维修，这种维护方式会影响生产效率，甚至导致原材料报废。智能真空泵的用量越大，需要采购的备件就越多，造成资金占用率增高。

发明内容

本发明的目的在于通过采集智能真空泵的运行数据，实时监控真空泵状态。通过状态报警、变化率报警、健康度预测三种方式，提前发现真空泵异常，减少计划外停线以及突发故障带来的原材料损失。

其中，本发明中真空泵的运行数据包括：真空泵的供电电压、运行电流、泵体温度、振动烈度、真空负压数据。

为实现上述目的，本发明提供了一种真空泵的预测维护系统，所述系统包括：

数据采集器、嵌入式监控终端和数据中心服务器；

数据采集器用于采集真空泵实时运行数据；

嵌入式监控终端基于真空泵实时运行数据中的预设类型数据得到真空泵的实时运行状态；

数据中心服务器基于真空泵实时运行数据和对应的实时运行状态，判断真空泵在当前实时运行状态下的实时运行数据是否异常，若异常则系统报警；

嵌入式监控终端基于真空泵在指定时间间隔内的实时运行数据，计算真空泵运行数据的变化率，即计算指定间隔时长内的电流、压力、振动烈度变化率，判断真空泵运行数据变化率是否异常，若异常则系统报警；

数据中心服务器基于真空泵实时运行数据和历史运行数据，计算间隔预设时长后真空泵预测运行数据，基于真空泵预测运行数据，计算真空泵健康度。

其中，本发明的原理为基于传感器采集的真空泵的实时运行数据进行状态报警和变化率报警，利用实时运行数据和历史运行数据进行健康度预测，实现主动维护，将状态报警、变化率报警、健康度预测三种方式相结合，全方面的对真空泵进行了维护和预测，维护的效率更高，维护的效果更佳，实现了真空泵的智能化维护，避免了传统被动维护存在的缺陷。

优选的，数据采集器包括：振动传感器、压力传感器、温度传感器、电压互感器和电流传感器；振动传感器用于采集真空泵的振动数据，此处的振动数据为振动烈度数据，振动数据通过振动烈度进行计算，压力传感器用于采集真空泵的真空负压压力数据，温度传感器用于采集真空泵的泵体温度数据，电压互感器用于采集真空泵的供电电压数据，电流传感器用于采集真空泵的运行电流数据。