[发明专利]微细结构元件的制造方法及其应用无效
| 申请号： | 200580000136.1 | 申请日： | 2005-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN1764516A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | 上岛俊司 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B23Q15/04 | 分类号： | B23Q15/04;G02B5/02;G02B5/04 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 陈海红;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种微细结构元件的制造方法，包括：第1平坦部形成工序，该工序中利用作为切削部的平坦切削刀在上述基板(500)上形成作为第1平坦部的上部平坦面(301)；第2平坦部形成工序，该工序中利用作为切削部的平坦切削刀，只以预定深度(h)对作为第1平坦部的上部平坦面(301)进行切削，来形成作为第2平坦部的下部平坦面(302)；折射面形成工序，该工序中利用作为切削部的平坦切削刀(401)，形成对作为第2平坦部的下部平坦面(302)具有预定角度(θa)、作为折射面的斜面(303)。 | ||
| 搜索关键词： | 微细 结构 元件 制造 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种微细结构元件的制造方法，其特征为，包括：平坦部形成工序，该工序中利用切削部在基板上形成平坦部；和折射面形成工序，该工序中利用所述切削部，形成对上述平坦部具有预定角度的折射面。
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