[发明专利]一种石英玻璃管的真空脱羟方法无效
| 申请号： | 200710020781.0 | 申请日： | 2007-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101050054A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 徐胜利 | 申请（专利权）人： | 徐胜利 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 | 代理人： | 刘喜莲 |
| 地址： | 222300江苏省东海*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是一种石英玻璃管的真空脱羟方法，它通过采用调整电流电压的措施，从升(降)温、恒温共采用十二步法对石英玻璃管进行脱羟基处理。本发明脱羟方法保持和提高了石英玻璃管的热稳定性，提高了石英玻璃管的耐温和防裂变性能，降低了石英玻璃管的高温变形率，提高了产品的适应性。处理后所得的石英玻璃管的羟基含量可降到2ppm以下，石英玻璃管的高温变形率小，直径在120mm以上的石英玻璃管的变形率在3％以内，完全达到了半导体技术用的大口径石英玻璃管的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 玻璃管 真空 方法 | ||
【主权项】：
1、一种石英玻璃管的真空脱羟方法，其特征在于，它采用十二步脱羟法，其步骤如下：第一步：用30-70分钟使真空脱羟炉内温度升至500-700℃；第二步：真空脱羟炉内恒温500-700℃保持3-10分钟；第三步：用10-30分钟使真空脱羟炉内温度升至700-900℃；第四步：真空脱羟炉内恒温700-900℃保持5-15分钟；第五步：用10-30分钟使真空脱羟炉内温度升至900-1000℃；第六步：真空脱羟炉内恒温900-1000℃保持3-10分钟；第七步：用60-120分钟使真空脱羟炉内温度升至1050-1250℃；第八步：真空脱羟炉内恒温1050-1250℃保持180-300分钟；第九步：用20-40分钟使真空脱羟炉内温度降至180-380℃；第十步：真空脱羟炉内恒温180-380℃保持10-30分钟；第十一步：用10-30分钟使真空脱羟炉内温度降至50-120℃；第十二步：真空脱羟炉内恒温50-120℃保持10-30分钟；出炉即得低羟基石英玻璃管。
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