[发明专利]加热器驱动螺杆检测装置及方法

摘要

一种加热器驱动螺杆检测装置，包括：上升环；加热器，所述加热器位于上升环内部；上升钉；驱动螺杆，所述驱动螺杆设置在加热器底部，用以驱动加热器运动；其中，在所述驱动螺杆一侧设置具有下传感器和上传感器的固定基板，所述下传感器和所述上传感器分别与探测电路板电连接，探测电路板的输出端与大型机系统电连接。本发明通过在加热器驱动螺杆检测装置中，设置与探测电路板电连接的下传感器和上传感器，而在沉膜工艺之前对沉积位置进行正确性检测，进而避免晶圆的损坏和沉膜厚度的非正常化等问题。同时，增加沉膜工艺制程的可控性，并提升产品良率。

主权项

一种加热器驱动螺杆检测装置，包括：上升环，所述上升环用以在外力驱动下，带动加热器驱动螺杆检测装置由释放位置上升至原位；加热器，所述加热器位于上升环内部，用以为沉膜工艺加热；上升钉，贯穿设置在加热器上平台两侧；驱动螺杆，所述驱动螺杆设置在加热器底部，用以驱动加热器运动；其特征在于：在所述驱动螺杆一侧设置具有下传感器和上传感器的固定基板，所述下传感器和所述上传感器分别与探测电路板电连接，探测电路板的输出端与大型机系统电连接。