[发明专利]多晶或单晶硅废料回用去胶工艺及专用退火炉有效

专利信息
申请号: 201110213177.6 申请日: 2011-07-28
公开(公告)号: CN102303868A 公开(公告)日: 2012-01-04
发明(设计)人: 周罗洪;孙志兰;葛相麟 申请(专利权)人: 江苏兆晶光电科技发展有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 北京市惠诚律师事务所 11353 代理人: 王美华
地址: 213200 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种多晶或单晶硅废料回用去胶工艺及专用退火炉,包括炉体及密封装置、炉门及启闭压紧装置、台车及台车牵引机构、加热元件及固定装置、风冷装置和温度自动控制系统,本发明的多晶或单晶硅废料回用去胶工艺专用退火炉及去胶工艺,节省了大量劳动力,碎片原料经高温退火处理后彻底去除粘胶条和胶水等可燃性杂质,达到多晶硅铸锭和拉制单晶硅的要求;具有冷却装置,排出炉体内的热量及已灰化的胶条和胶水,达到速冷的目的。
搜索关键词: 多晶 单晶硅 废料 回用去胶 工艺 专用 退火炉
【主权项】:
一种多晶或单晶硅废料回用去胶工艺专用退火炉,其特征在于:包括炉体(1)及密封装置、设置在炉体(1)上的炉门(2)及启闭压紧装置(3)、设置在炉体(1)内的台车(4)及台车牵引机构(5)、加热元件及固定装置、风冷装置(6)和温度自动控制系统,所述的炉体(1)内具有炉衬(11),炉体(1)下方具有供台车(4)移动的轨道(12);所述的炉门(2)通过启闭压紧装置(3)安装在炉体(1)上;所述的台车(4)包括车架(41)、堆砌在车架(41)上的护衬砌体(42)和放置原料的料盘(43),车架(41)上具有在轨道(12)上移动的轮组(44)和驱动轮组(44)的台车牵引机构(5),护衬砌体(42)通过台车(4)的进入与炉体(1)的炉衬(11)接触密封连接,炉衬(11)、护衬砌体(42)和炉门(2)组成密闭的炉腔;所述的加热元件包括加热炉丝,加热炉丝通过固定装置安装在炉衬(11)上和台车(4)的料盘(43)下方;所述的风冷装置(6)包括引风机(61)和管道(62),炉体(1)上具有开孔,开孔内安装与炉腔相通的管道(62),管道(62)连接引风机(61);所述的温度自动控制系统包括设置在炉体(1)内的测温点和设置在炉体(1)外部的监控设备,监控设备通过测温点采集的数据信息控制加热元件工作。
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