[发明专利]一种射频匹配网络及其所应用的等离子体处理腔有效
申请号: | 201210065406.9 | 申请日: | 2012-03-13 |
公开(公告)号: | CN103311082A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 梁洁;罗伟义;叶如彬;朱志明;倪图强 | 申请(专利权)人: | 中微半导体设备(上海)有限公司 |
主分类号: | H01J37/30 | 分类号: | H01J37/30;H01J37/305 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种射频匹配网络及应用该射频匹配网络的等离子体处理腔,通过采用本发明所述的射频匹配网络,只需调节其中可变电容的大小即可实现射频匹配网络在两种阻抗状态的即时切换,从而保证两射频偏置功率在射频偏置功率源不断开的前提下也能实现即时切换,满足等离子体处理腔的需要。 | ||
搜索关键词: | 一种 射频 匹配 网络 及其 应用 等离子体 处理 | ||
【主权项】:
一种射频匹配网络,用于将两个射频偏置功率可切换地施加于一个等离子体处理腔的电极上,其特征在于:所述的射频匹配网络包括一谐振电路,所述谐振电路包括一电容、一电感和一可变电容,调节可变电容大小,所述谐振电路可以在第一阻抗状态和第二阻抗状态之间切换,在第一阻抗状态,所述谐振电路对第二射频偏置功率处于高阻抗状态,对第一射频偏置功率处于低阻抗状态;在第二阻抗状态,所述谐振电路对第一射频偏置功率处于高阻抗状态,对第二射频偏置功率处于低阻抗状态。
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- 本发明提供一种反应腔与石英管的隔离装置及其操作方法,在石英管末端管道中接入第一隔离阀,设置连通该末端管道与排气管道的连接通道,及在该连接通道中接入第二隔离阀;正常工作时第一隔离阀常开而第二隔离阀常闭;如若更换石英管的维护工作时,通过第一隔离阀将反应腔的气体入口封闭,不再需要对反应腔进行通气操作;只有在维护工作完成后才将第二隔离阀打开将石英管通过连接通道、排气管道与外部的排气泵连通,对换上的石英管进行抽真空操作。而在查漏时,将第一隔离阀关闭,可以更快速地分辨泄漏源位置。因此,本发明可以有效简化维护工作,节省维护和查漏时间。
- 离子注入工具以及离子注入方法-201610683472.0
- 李圣伟 - 台湾积体电路制造股份有限公司
- 2016-08-18 - 2017-05-10 - H01J37/30
- 一种离子注入工具包括工艺室、压板、离子源、以及多个控制单元。压板存在于工艺室中并且被配置成保持晶圆。离子源被配置成将离子束提供至晶圆上。控制单元存在于压板上并且被配置成施加多个物理场,该物理场能够影响离子束的离子至晶圆上的运动。
- 离子照射装置、离子照射方法-201580000348.3
- 汤濑琢巳;寺泽寿浩 - 株式会社爱发科
- 2015-02-27 - 2017-04-05 - H01J37/30
- 从离子源向离子加速装置16入射并且在离子加速管24内飞行的正离子被在离子加速管24的内部配置的多个加速电极2a~2h加速而向照射对象物照射。在离子加速管24内配置有多个磁铁装置5,使各磁铁装置5分别形成的磁力线的方向在相邻的磁铁装置5中以比0度大且90度以下的角度不同,使各磁力线在离子加速管24内沿一个方向旋转。使在离子加速管24内逆行的电子与磁力线交叉,使电子一边逆行一边增加离飞行轴的距离。电子与离子加速管24内的构件冲撞,在变为高能量之前停止,因此,不产生高能量X射线。
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