[发明专利]酸性化学镀铜系统及其镀铜方法

摘要

一种酸性化学镀铜系统包括酸性化学镀铜液、浸置于酸性化学镀铜液的工作物件和牺牲阳极。酸性化学镀铜液包括铜离子水溶液、缓冲剂和还原剂。工作物件包括具有第一还原电位的导电材料，牺牲阳极包括具有第二还原电位的金属材料，且牺牲阳极电性连结于工作物件以进行偶合，第二还原电位低于第一还原电位。其中，进行化学镀铜时，通过牺牲阳极与工作物件的偶合而将酸性化学镀铜液中工作物件的表面电位值调整至第一还原电位和第二还原电位之间而使还原剂产生氧化，以析出镀铜层于工作物件。

主权项

一种酸性化学镀铜系统，包括：酸性化学镀铜液，包括铜离子水溶液、缓冲剂和还原剂；工作物件，浸置于该酸性化学镀铜液，且该工作物件包括具有第一还原电位的导电材料；和牺牲阳极，浸置于该酸性化学镀铜液，且该牺牲阳极包括具有第二还原电位的金属材料，该牺牲阳极电性连结于该工作物件以进行偶合，该第二还原电位低于该第一还原电位。