[发明专利]透明衬底探测器及其制造方法在审
| 申请号： | 201210592734.4 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103913244A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 焦斌斌;尚海平;高超群;刘瑞文;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01J5/38 | 分类号： | G01J5/38;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种透明衬底探测单元，包括：透明衬底；与透明衬底相对的吸收层，吸收层的材料是对预定波段射线吸收率高的材料；在吸收层的相对于透明衬底的一侧上形成的反射层，反射层的材料是不能透过可见光的材料，并且其中，反射层的材料的热膨胀系数与吸收层的材料的热膨胀系数不同，以使得吸收层和反射层在由于吸收层吸收预定波段射线而产生热量时发生可测变形；在衬底上形成的热隔离梁，热隔离梁的材料是对热隔离的材料，其用于支撑吸收层和反射层。该探测单元结构简单，通过使红外射线在与衬底相对的另一侧直接入射到吸收层，能够避免红外光经过衬底而造成的能量损失；同时保留了衬底，避免了去掉衬底而造成的器件结构变脆弱和热串扰现象。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 衬底 探测器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种透明衬底探测器，包括：多个探测单元，其中所述多个探测单元的每一个包括：所述透明衬底；与所述透明衬底相对的吸收层，所述吸收层的材料是对预定波段射线吸收率高的材料；在所述吸收层的相对于所述透明衬底的一侧上形成的反射层，所述反射层的材料是反射可见光的材料，并且其中，所述反射层的材料的热膨胀系数与所述吸收层的材料的热膨胀系数不同，以使得所述吸收层和所述反射层在由于所述吸收层吸收所述预定波段射线而产生热量时发生可测变形；以及在所述衬底上形成的热隔离梁，所述热隔离梁的材料是对热隔离的材料，其用于支撑所述吸收层和所述反射层。
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