[实用新型]太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置，该装置包括：外腔体，其设有用于基片进出的外腔体入口和外腔体出口，所述外腔体入口和外腔体出口上分别设有喷气隔离装置；位于所述外腔体内的反应腔体，其设有用于基片进出的反应腔体入口和反应腔体出口，所述反应腔体入口和反应腔体出口上分别设有喷气隔离装置，所述反应腔体上设有硒蒸汽管、硫蒸汽管和排清气体输送管；置于所述反应腔体外的多个加热器；包覆在所述反应腔体外的热反射层，所述加热器位于所述反应腔体和热反射层之间；以及输送基片进出所述反应腔体的输送机。采用本实用新型，可实现基片的硒化与硫化反应，确保硒化与硫化反应的工艺要求。

主权项

一种太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置，其特征在于，包括：外腔体(10)，其设有用于基片(100)进出的外腔体入口和外腔体出口，所述外腔体入口和外腔体出口上分别设有喷气隔离装置(11、12)；位于所述外腔体(10)内的反应腔体(20)，其设有用于基片(100)进出的反应腔体入口和反应腔体出口，所述反应腔体入口和反应腔体出口上分别设有喷气隔离装置(21、22)，所述反应腔体(20)上设有硒蒸汽管(40)、硫蒸汽管(50)和排清气体输送管(60)；置于所述反应腔体(20)外的多个加热器(23)；包覆在所述反应腔体(20)外的热反射层(30)，所述加热器(23)位于所述反应腔体(20)和热反射层(30)之间；以及输送基片(100)进出所述反应腔体(20)的输送机(101)。