[发明专利]振动片、振动片的制造方法、传感器单元、电子设备在审
| 申请号： | 201310110520.3 | 申请日： | 2013-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN103363976A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 松尾敦司 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5607 | 分类号： | G01C19/5607 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供振动片、振动片的制造方法、传感器单元、电子设备，该振动片能够抑制泄漏信号。振动陀螺元件(10)具备：基部(20)；从基部(20)起延伸的驱动用振动臂(21、22)及检测用振动臂(31、32)；从基部(20)起延伸并伴随于驱动用振动臂(21、22)的驱动振动而振动的第一调节用振动臂(51、52)及第二调节用振动臂(61、62)，至少第一调节用振动臂(51、52)的输出信号相对于检测用振动臂(31、32)的泄漏振动的输出信号为反相，第一调节用振动臂的输出信号的振幅大于第二调节用振动臂。由此，在通过对第一调节用振动臂的调节用电极的电极长(L1)进行调节而进行泄漏振动的粗调之后，通过对第二调节用振动臂的调节用电极的电极长(L2)进行调节而进行泄漏振动的微调，从而可抑制泄漏振动。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 制造 方法 传感器 单元 电子设备 | ||
【主权项】：
一种振动片，其特征在于，具备：基部；驱动用振动臂及检测用振动臂，其从所述基部起延伸；第一调节用振动臂及第二调节用振动臂，其从所述基部起延伸，并伴随于所述驱动用振动臂的驱动振动而进行振动，至少所述第一调节用振动臂的输出信号相对于所述检测用振动臂的泄漏振动的输出信号为反相，所述第一调节用振动臂的输出信号的振幅大于所述第二调节用振动臂的输出信号的振幅。
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- 舟川刚夫 - 精工爱普生株式会社
- 2013-04-09 - 2013-10-23 - G01C19/5607
- 本发明提供一种能够以较高的成品率进行制造并且可靠性优异的振动片以及振动装置，此外，还提供一种具备所涉及的振动装置的可靠性较高的电子设备。传感器元件(振动片)具备：基部(21)；振动臂(22)，其从基部(21)起被延伸出；驱动部(51)，其被设置在振动臂(22)上，且具有第一电极层(511)、第二电极层(513)以及压电体层(512)；配线(62)，其从第二电极层(513)被引出，且具有沿着压电体层(512)的侧面而设置的部分(621)；端子，其被设置在基部(21)上，且经由配线(62)而与第二电极层(513)电连接。
- 振动装置以及振动装置的制造方法-201310102718.7
- 花冈辉直 - 精工爱普生株式会社
- 2013-03-27 - 2013-10-23 - G01C19/5607
- 本发明提供一种振动装置以及振动装置的制造方法，该振动装置实现了搭载有振动元件的半导体基板的小型化。所述振动装置的特征在于，具有：半导体基板；第一电极，其设置在半导体基板的第一面上；保护层，其覆盖第一面的端部并被设置在第一面上；振动元件，其包括振动部、位于振动部上的质量调节部、以及第二电极，在振动元件中，质量调节部位于在俯视观察时与保护层重叠的位置处，并且振动元件的一部分被配置在俯视观察时不与第一面重叠的位置处，第一电极和第二电极被连接并被搭载在第一面上。
- 音片型压电振动器以及音叉型压电振动器-201180058730.1
- 仓川晴好 - 株式会社村田制作所
- 2011-09-30 - 2013-09-25 - G01C19/5607
- 本发明提供能提高驱动效率、检测灵敏度且能实现制造工序的简化进而能提高设计自由度的音片型压电振动器以及音叉型压电振动器。在厚度方向上反向地进行了极化的第1压电体层、第2压电体层（3、4）间层叠有第1、第2内部驱动电极（5、6）作为内部驱动电极，按照隔着压电体层（3、4）分别与第1内部驱动电极（5、6）对置的方式形成第1外部电极（7）以及第2外部电极（8），构成了将内部驱动电极（5、6）作为驱动用电极使用的第1、第2振动部（1A、1B），提供这样的音片型压电振动器（1）、和具有由该音片型压电振动器（1）构成的第1脚部、第2脚部的音叉型压电振动器。
- 陀螺仪传感器以及电子设备-201310074944.9
- 石井昌宏 - 精工爱普生株式会社
- 2013-03-08 - 2013-09-18 - G01C19/5607
- 本发明提供陀螺仪传感器以及电子设备，能够检测绕相互交叉的2个轴的各个轴的角速度。陀螺仪传感器（2）具有：基部（41）；第1连接臂（44）和第2连接臂（45），它们从基部（41）起沿着X轴彼此相反地延伸；第1驱动振动臂（46），其从第1连接臂（44）起沿着Y轴延伸；第2驱动振动臂（46），其从第2连接臂（45）起沿着Y轴延伸；以及第1检测振动臂（42）和第2检测振动臂（43），它们从基部（41）起沿着Y轴彼此相反地延伸，第1驱动振动臂（46）和第2驱动振动臂（47）各自包含X轴和Z轴的方向的振动成分。
- 传感器元件、传感器器件以及电子设备-201310061309.7
- 市川史生 - 精工爱普生株式会社
- 2013-02-27 - 2013-09-11 - G01C19/5607
- 本发明提供传感器元件、传感器器件以及电子设备，具有优异的检测灵敏度。传感器元件(2)具有：基部(21)；从基部(21)延伸的检测用振动臂(23、24)；以及在检测用振动臂(23、24)上设置的检测部(41～44)，检测部(41～44)分别具有下部电极层、上部电极层以及压电体层，检测部(41、42)的下部电极之间，以及检测部(43、44)的下部电极之间彼此电连接。
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