[发明专利]用于加工工件的方法及设备有效
| 申请号： | 201380049563.3 | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN104703748B | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 张海滨;格兰·西门森 | 申请（专利权）人： | 伊雷克托科学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/359 | 分类号： | B23K26/359;B23K26/386;B23K26/40;B23K103/08;B23K103/10;B23K103/14;B23K103/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 许静,黄灿 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为方法及用于执行该方法的装置，该方法具有以下步骤提供一工件，在外表面的一区域处产生多个自由电子及通过将激光能量导向至该工件上来加工该工件中邻接该第一区的一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 工件 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种激光加工的方法，其包括：提供一工件，其具有一外表面与邻接该外表面的一内部，其中该外表面包括一第一主表面和与该第一主表面相对的一第二主表面，以及其中该外表面包括从该第一主表面延伸到该第二主表面的一或多个侧表面；利用一预加工增强制程以在该外表面的一第一区处形成一增强区，以在该外表面的该第一区处产生多个自由电子，其中该第一区具有一第一面积，以及其中该增强区是与该侧表面分隔开；以及在利用该预加工增强制程之后，利用一加工制程以通过将激光能量导向该工件的该增强区的一部分来将一特征加工至邻接该增强区的该工件中，其中该增强区是组配以提供该多个自由电子来通过接收导向该工件的该激光能量的该增强区的该部分而刺激该激光能量的非线性吸收，其中将该特征加工至该工件中包括将邻接该增强区的该部分的该工件的该内部中的材料移除，其中该特征是与该侧表面分隔开且包括与该外表面相交的一开口，其中该开口具有一第二面积，其中该增强区的该第一面积是大于或等于该特征的该开口的该第二面积，其中该特征延伸至该工件的该内部，其中该加工制程的该激光能量包括具有一波长的至少一激光脉冲，其中对该波长而言，该工件为至少大体上透明的，其中该激光能量聚焦在定位于该第二主表面处或在该第二主表面下方的束腰处，使得该激光能量碰撞该第一主表面且透过该工件传输到该第二主表面，以便该激光能量具有足以刺激该激光能量在该第二主表面上该增强区的该部分的非线性吸收的通量及/或峰值强度，从而在该第二主表面中开始该特征的形成，以及其中该加工制程与该预加工制程是有区别的。
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