[发明专利]M50NiL材料直线式离子注入表面改性的方法有效
| 申请号： | 201410003343.3 | 申请日： | 2014-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN103757598A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 金杰;朱政;黄晓林;王月 | 申请（专利权）人： | 北京机械工业自动化研究所 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;鲍俊萍 |
| 地址： | 100120 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种M50NiL材料直线式离子注入表面改性的方法，该方法在真空条件下，采用直线式离子注入方式对M50NiL材料进行表面改性，表面改性采用氮离子与金属离子连续重叠注入，先注入氮离子，再注入金属离子，依次循环至少2次，使氮离子与金属离子都进行至少2次注入。本发明的M50NiL材料直线式离子注入表面改性的方法及表面改性M50NiL材料，可使改性后M50NiL材料表面具有良好的抗接触疲劳性能。 | ||
| 搜索关键词： | m50nil 材料 直线 离子 注入 表面 改性 方法 | ||
【主权项】：
一种M50NiL材料直线式离子注入表面改性的方法，其特征在于：在真空条件下，采用直线式离子注入方式对M50NiL材料进行表面改性，表面改性采用氮离子与金属离子连续重叠注入，先注入氮离子，再注入金属离子，依次循环至少2次，使氮离子与金属离子都进行至少2次注入。
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