[发明专利]表面处理支承装置、表面处理支架、表面处理方法,以及表面处理设备有效
| 申请号： | 99120530.8 | 申请日： | 1999-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN1250822A | 公开（公告）日： | 2000-04-19 |
| 发明（设计）人： | 枥下佳己;藤原好雄;浅贝义宏;太田垣谦 | 申请（专利权）人： | 住友特殊金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 孙征 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 对一系列制品进行表面处理的方法,在一处理室中对所述制品的表面进行处理。所述制品的支承装置可以由各包括许多隔间的顶笼和底笼构成,所述底笼和底笼可在长度方向上开闭。所述支承装置可由可在长度方向上开闭折合的板状部件构成,展开时可形成一系列狭部,其长度对应于待处理制品的内径。一种表面处理设备,其包括一个在于处理室中的处理材料源,旋转支承所述制品的支承装置的旋转装置使所述制品绕其自身的轴线、或公共旋转轴线、或两者旋转的情况下,进行均一的表面处理。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 支承 装置 支架 方法 以及 设备 | ||
【主权项】：
1、一种表面处理支承装置，用来支承一系列制品，其包括一个顶笼和底笼，所述顶笼和底笼包括许多隔间，可在长度方向上开闭。
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