[实用新型]一体成型清洁结构有效
| 申请号： | 201420600558.9 | 申请日： | 2014-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN204261969U | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 郑东忠;顾致安;陈弘佳;毛嘉豪 | 申请（专利权）人： | 郑东忠 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 何为;袁颖华 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种一体成型清洁结构，其包含一面上设有固定单元的底座、以及一体成型包覆于该固定单元外侧的清洁单元。藉此，可将底座与所需的研磨机构结合，并利用清洁单元对晶圆进行清洁，而达到避免人员安装问题、有效防止清洁单元脱落、减少更换时间以及提高制成良率的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 一体 成型 清洁 结构 | ||
【主权项】：
一种一体成型清洁结构，其包括有底座及清洁单元，其特征在于，所述底座一面上设有固定单元；该清洁单元一体成型包覆于该固定单元外侧。
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