[发明专利]一种测量微纳金属纤维表面形貌的装置及其使用方法和该装置中驱动器运动距离的测量方法

摘要

一种测量微纳金属纤维表面形貌的装置及其使用方法和该装置中驱动器运动距离的测量方法，基座通过导轨安装在底座上，支梁置于基座上方；模板安装在基座上，其中部搭在支梁上；横梁置于支梁正上方，侧梁一端与横梁的支撑腿连接，另一端设有驱动器；电极一端安装在侧梁上，另一端置于模板上方，电极指向模板的一端与模板表面的距离为0.01‑100nm。本发明通过产生的隧道电流效应来扫描被测物体的表面，通过电流大小的不一样得到被测物体表面的立体形态。

主权项

一种测量微纳金属纤维表面形貌的装置，其特征是，包括底座（1）、横梁（2）、模板（4）、基座（5）、支梁（11）以及电极（211）；所述基座通过导轨（3）安装在底座上，所述支梁两端分别通过支架（7）安装在底座上，且支梁置于基座上方；所述模板一端安装在基座一侧，其中部搭在支梁上，另一端通过弹性元件连接在基座另一侧；所述横梁置于支梁正上方，其一端通过支撑腿（6）与底座连接；所述横梁与支梁之间设有侧梁（21），侧梁一端与横梁的支撑腿连接，另一端设有两个驱动器，侧梁另一端搭在其中一个驱动器（25）顶部，另一个驱动器（22）的一端与横梁连接，另一端顶住侧梁端部；所述侧梁与横梁之间设有弹性元件（23），该弹性元件一端与横梁连接，另一端拉紧侧梁；所述电极（211）一端安装在侧梁上，另一端置于模板上方，并指向模板表面，电极指向模板的一端与模板表面的距离为0.01‑100nm。