[发明专利]晶体硅酸性抛光液的添加剂及其应用有效
| 申请号： | 201510946749.X | 申请日： | 2015-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN105385359B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 章圆圆;宋卫平;符黎明 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/06 | 分类号： | C09G1/06;H01L21/306 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶体硅酸性抛光液的添加剂及其应用，该添加剂由2～5质量份酒石酸、0.5～2.0质量份聚乙烯醇、1～3质量份硫酸钠和100质量份水组成。在对硅片进行表面抛光时，将本发明的添加剂加入到酸性溶液中，可达到优异的抛光效果，且可在低酸浓度下实现抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 质量份 添加剂 硅酸 抛光液 硫酸钠 表面抛光 聚乙烯醇 抛光效果 酸性溶液 酒石酸 抛光 硅片 低酸 应用 | ||
【主权项】：
1.晶体硅酸性抛光液的添加剂，其特征在于，由2～5质量份酒石酸、0.5～2.0质量份聚乙烯醇、1～3质量份硫酸钠和100质量份水组成。
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