[发明专利]薄膜应力测试仪及其测试方法有效
| 申请号： | 201610162358.3 | 申请日： | 2016-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN107219030B | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;蒋春磊;焦国华;鲁远甫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00;G01N25/16 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于薄膜应力测试技术领域，公开了一种薄膜应力测试仪及其测试方法，所述测试仪包括台架、设置在台架上的激光器、可内置薄膜样品的真空腔室、用于控制真空腔室进行X轴和Y轴运动的XY轴运动平台、安装在真空腔室的底板上且用于实现样品快速升降温功能的快速升降温装置、设置在真空腔室上方的反射镜和半透镜，以及设置在台架远离所述反射镜和半透镜的一端的位敏探测器，所述激光器发出的激光经反射镜和半透镜进入真空腔室并照射所述薄膜样品，所述薄膜样品反射的激光经半透镜反射至所述位敏探测器。本发明通过快速升降温装置测量薄膜在高温下和交变热载荷作用下的应力，并根据薄膜在不同温度下的热应力数值计算薄膜的热膨胀系数。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 应力 测试仪 及其 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜应力测试仪，其特征在于，包括台架、设置在所述台架上的激光器、可内置薄膜样品的真空腔室、用于控制真空腔室进行X轴和Y轴运动的XY轴运动平台、安装在所述真空腔室的底板上且用于实现样品快速升降温功能的快速升降温装置、设置在所述真空腔室上方的反射镜和半透镜，以及设置在所述台架远离所述反射镜和半透镜的一端的位敏探测器，所述激光器发出的激光经所述反射镜和半透镜进入所述真空腔室并照射所述薄膜样品，所述薄膜样品反射的激光经所述半透镜反射至所述位敏探测器。
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