[发明专利]一种新型无腔室的石墨烯高温压力传感器有效
| 申请号： | 201610557637.X | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN106052909B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;吴承根 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及高温压力测试技术领域，具体涉及一种新型无腔室的石墨烯耐高温压力传感器，所述传感器采用无腔室基底结构用于减少噪声压力信号；并所述传感器利用氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结作为敏感元件感受外部压力；所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结外部无腔室结构，直接暴露于被测空间；所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结为三层结构，从上到下依次包括顶层氮化硼、石墨烯层和底层氮化硼，所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结采用石墨烯和氮化硼两种耐高温材料制备；所述传感器能够在20‑900℃的温度环境中稳定工作。本发明所述传感器解决了现有高温压力传感器在高温环境中灵敏度受敏感结及压力腔内气、液体热膨胀噪声压力限制难以提升的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 无腔室 石墨 高温 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种新型无腔室的石墨烯高温压力传感器，其特征在于，所述高温压力传感器采用无腔室基底结构以减少噪声压力信号；所述高温压力传感器采用氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结(2)作为敏感元件感受外部压力；所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结(2)直接暴露于被测空间，其外部无腔室结构；所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结(2)为三层结构，从上到下依次为顶层氮化硼、石墨烯层和底层氮化硼，所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结(2)采用石墨烯和氮化硼两种耐高温材料制备；所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结在0‑5nN/nm2的应力范围内，随着压力的增大通过石墨烯面内的电流由10‑6A减小至10‑9A，变化3个数量级；所述高温压力传感器能够稳定工作的最高温度为900℃。
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